成都Inter芯片廠
成都工廠已經(jīng)是英特爾在全球*大的封裝生產(chǎn)基地,英特爾成都工廠是英特爾全球*大的芯片封裝測試中心之一,并已建設(shè)成為英特爾全球晶圓預(yù)處理三大工廠之一,英特爾全球一半的移動設(shè)備微處理器來自英特爾成都。是一家外商獨資企業(yè),位于成都高新綜合保稅區(qū),主要從事英特爾半導(dǎo)體產(chǎn)品的封裝測試,目前總投資額為 5.25 億美元。 2003 年 8 月,英特爾公司宣布在 成都高新西區(qū)建立半導(dǎo)體芯片封裝測試工廠,翌年 2 月一期項目芯片組工廠開始建設(shè), 2005 年底建成投產(chǎn),產(chǎn)品已出口到世界各地。 2005 年 8 月二期項目開工, 2006 年 10 月工程竣工,其中培訓(xùn)中心已經(jīng)啟用,微處理器工廠在 2007 年投產(chǎn),封裝測試英特爾*先進的多核微處理器產(chǎn)品。
圖:成都Inter封裝生產(chǎn)線
問題
半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)是資本密集、技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè),芯片制造廠也是公認的生產(chǎn)*為復(fù)雜的工廠之一。半導(dǎo)體制造機臺設(shè)備極為昂貴,并且性能極為精密,對工作條件的要求也非??量蹋娔茏鳛檫@些昂貴的、極精密的機臺設(shè)備的“血流”—動力源。其任何微小變化都可能引起這些機臺設(shè)備的異常狀態(tài),從而導(dǎo)致大的損失。比如:IC測試臺、PLC控制的機械手、芯片制造用的晶圓機或變頻控制的半導(dǎo)體機臺都會產(chǎn)生大量的諧波,他們不但會造成機臺設(shè)備自身的壞機現(xiàn)象,回流進電網(wǎng)的諧波還會引起其他回路的發(fā)熱,電子開關(guān)誤動作、供電電壓不穩(wěn),升值生產(chǎn)線停線,半成品的報廢,其損失巨大。而且高能設(shè)備如:外延設(shè)備、擴散設(shè)備、離子注入設(shè)備的頻繁加卸載,更加重了用電環(huán)境的惡化。由此可見半導(dǎo)體制造行業(yè)的電能質(zhì)量問題非常嚴重,電磁環(huán)境非常惡劣,芯片制造業(yè)內(nèi)部的電能質(zhì)量問題應(yīng)該引起半導(dǎo)體制造行業(yè)決策者的重視。
解決方案
捷尼查(Janitza)攜手成都電力中試所,一同參與了INTEL芯片廠電能質(zhì)量監(jiān)測項目,使用了當時全系**產(chǎn)品UMG 510*2和UMG 507*1對全廠電力系統(tǒng)進行監(jiān)測。
結(jié)果
UMG 510*2和UMG 507*1詳細記錄了各電氣參數(shù)的實時數(shù)據(jù),同時對電能質(zhì)量分析中關(guān)鍵的瞬變、閃爍以及短期干擾事件進行記錄,包含發(fā)生事件時的時間,波形和數(shù)值等,對電能質(zhì)量嚴重污染源的排查和治理起到了積極的作用。
注:*1UMG507已停產(chǎn),可用UMG 508替代;*2UMG510已停產(chǎn),可用UMG 511替代