概要

変換素子にひずみゲージを使用して、センサ內(nèi)部でブリッジを構(gòu)成した小型薄肉構(gòu)造をした圧力センサです。スパッタリングとフォトリソグラフィ技術(shù)による薄膜ひずみゲージをダイヤフラム上に直接形成してあります。取り付けは接著剤を使用して行います。主に気體計測用に開発されたものです。

 

特長

注1）接液部の材質(zhì)は銅合金を使用しています。本材質(zhì)が腐食する恐れのある液體、気體には使用しないでください。
注2）接液部の組立に接著剤を使用しております。有機溶剤（トルエン、ケトン類など）の測定には使用できません。
注3）高溫高濕の場所で長時間測定することはできません。
注4）水中で使用できません。

 

仕様

性能

定格容量	50kPa
非直線性	±1%RO以內(nèi)
ヒステリシス	±1%RO以內(nèi)
定格出力	1mV/V（2000×10-6ひずみ）以上
ケーブルの引き出し方向	受圧面に対して平行方向

環(huán)境特性

許容溫度範囲	-20～70℃
溫度補償範囲	0～50℃（AF，BFは結(jié)露しないこと）
零點の溫度影響	±0.8%RO/℃以內(nèi)
出力の溫度影響	±0.3%/℃以內(nèi)

電気的特性

許容印加電圧	4V ACまたはDC
推奨印加電圧	1～2V ACまたはDC
入力抵抗	350～1000Ω
出力抵抗	350～1000Ω
ケーブル	外徑0.08mm，ポリウレタン銅線5cm， 先端はんだあげ

機械的特性

許容過負荷	150%
固有振動數(shù)	約18kHz
質(zhì)量	0.15g
構(gòu)造	密閉型