準(zhǔn)分子燈

封入氙氣的準(zhǔn)分子(Excimer)燈（誘電體屏障放電Excimer燈）可有效放射波長180nm以下的VUV（真空紫外線），達(dá)到超越以往的化學(xué)反應(yīng)與反應(yīng)速度。

USHIO光照射裝置用準(zhǔn)分子燈

特征

單一波長、低溫處理

因?yàn)槭菃我徊ㄩL，因此可選擇會引起化學(xué)反應(yīng)的紫外線，并可達(dá)到不使對象物產(chǎn)生非必要反應(yīng)或熱的低溫處理。

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高效率

從電力轉(zhuǎn)換為光能源的效率高（172nm型的轉(zhuǎn)換率10%)，即使低電力亦可產(chǎn)生大的能量。

可瞬間亮燈滅燈

僅于必要時照射必要量的能量，因此具備不需要快門、實(shí)際上可延長使用壽命等各種優(yōu)點(diǎn)。

安裝方向不受限制

燈的亮燈方向不受限制，可配合生產(chǎn)線做立面照射。

USHIO光照射裝置用準(zhǔn)分子燈

分光分布

USHIO光照射裝置用準(zhǔn)分子燈

半導(dǎo)體制程用裝置實(shí)例

USHIO光照射裝置用準(zhǔn)分子燈

液晶制程用裝置實(shí)例

USHIO光照射裝置用準(zhǔn)分子燈

主要用途

HDD光盤洗凈
阻劑剝離
阻劑殘渣的剝離
塑料基板的洗凈
金屬表面的清洗與重組
Low-k Cure 
PDP熒光體評估
分析評估前的洗凈
氣體分解
形成氧化膜
防止帶電
干燥
玻璃膠膜的貼合
纖維的改質(zhì)
有機(jī)EL封裝管的接合性提升
有機(jī)EL的工作函數(shù)増加

測試機(jī)介紹

提供使用產(chǎn)品的實(shí)驗(yàn)或測試機(jī)。測試后可直接購買。
※部份使用目的與用途等無法配合需求。敬請見諒。