xyzθ定位平臺 xyzθ positioner
產品簡介
xyzθ定位平臺采用美國Aerotech公司高精度定位臺構造,實現在XYZ-Theta四維**定位,也是全球**的xyzθ定位臺和xyzθ位移臺。
產品詳細信息
xyzθ定位平臺采用美國Aerotech公司高精度定位臺構造,實現在XYZ-Theta四維**定位,也是全球**的xyzθ定位臺和xyzθ位移臺。
xyzθ定位平臺采用XY位移臺實現XY定位,采用升降臺實現Z軸定位,采用旋轉定位臺進行Theta定位,采用全數字伺服控制器,從而實現100mm x 100mm x 16mm x 360degree 的xyzθ定位,分辨率高達1nm 和0.36arcsec。
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