納米掃描臺(tái)Nano Scanning Stage 8NTS-01XY是平行平面的定位和掃描設(shè)備。它是一個(gè)單片金屬體（通常由高質(zhì)量的鋁合金制成），采用了EDM電線腐蝕和其他精密機(jī)械手段構(gòu)建通道，通道是供壓電陶瓷致動(dòng)器、工作臺(tái)的移動(dòng)元件使用的。8NTS-01XY的該種設(shè)計(jì)使得運(yùn)動(dòng)有著近**的直線度和平面度，與經(jīng)典的使用壓電陶瓷管的掃描儀相比，它是在球面掃描物體表面的。此外，與脆弱的壓電管相比，平行平面納米掃描臺(tái)具有高機(jī)械強(qiáng)度。
納米掃描臺(tái)8NTS-01XY的所有軸都配備了電容位移傳感器，包括在數(shù)字反饋鏈內(nèi)。它提供了高精度和線性運(yùn)動(dòng)，消除了壓電陶瓷漂移（緩變）的影響。其測(cè)量部分是基于TDC（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器），安裝在離傳感器*近的位置，會(huì)立即測(cè)量出數(shù)字信號(hào)和測(cè)量電容的比例。將*大限度地減少了外部電磁噪聲的影響，并使用長(zhǎng)電纜連接掃描臺(tái)到控制器。
 使用通用的控制器 8NSC-3061和軟件 NSpec控制8NTS-01XY納米掃描臺(tái)。
其實(shí)，平面臺(tái)8NTS-01XY +全功能的SPM控制器8NSC-3061+通用軟件NSpec組成進(jìn)行完成掃描，數(shù)據(jù)采集和可視化系統(tǒng)，該系統(tǒng)會(huì)是所有掃描顯微鏡的“核心”部分，可以完全適應(yīng)任何“自制”系統(tǒng)。對(duì)于那些使用自制物理信號(hào)納米傳感器獲取信號(hào)在納米尺度的分布的客戶，購(gòu)買該系統(tǒng)，將大大節(jié)省科學(xué)項(xiàng)目的時(shí)間和資源。
電子控制器8NSC-3061控制SPM或共聚焦顯微鏡的性能?？刂破鲿?huì)從系統(tǒng)傳感器和外部設(shè)備采集數(shù)據(jù)，將控制電壓應(yīng)用到掃描臺(tái)的壓電致動(dòng)器，所有采集的信息會(huì)傳輸?shù)絇C工作站，使可視化和進(jìn)行處理。控制信號(hào)由PC機(jī)傳輸?shù)娇刂破?，用于調(diào)整所有系統(tǒng)參數(shù)。8NSC-3061控制器的一個(gè)重要部分是閉環(huán)反饋系統(tǒng)。其基于高質(zhì)量的20位TDC（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器）來(lái)測(cè)量電容位移傳感器。任何可用的系統(tǒng)信號(hào)都可以用在SPM反饋?？刂破髂軌蛲瑫r(shí)操作6個(gè)通道得到反饋，這樣既可以通過(guò)頂端又可以通過(guò)樣品掃描。
8NSC-3061 SPM控制器有2-通道鎖相放大器來(lái)提供共振SPM技術(shù)，例如非接觸掃描模式。鎖相放大器中包括基于數(shù)字頻率合成器的高穩(wěn)定電壓發(fā)生器。采用可編程邏輯（結(jié)合），實(shí)現(xiàn)了高速數(shù)據(jù)處理，可以在高達(dá)1.5MHz帶寬時(shí)進(jìn)行高質(zhì)量鎖定。
 8NSC-3061配置了麥芽通道（12條）步進(jìn)電機(jī)，控制微步進(jìn)，粗略調(diào)整掃描頭。
納米掃描臺(tái)的控制器有外部模擬輸入和輸出，來(lái)連接外部設(shè)備和同步輸入和輸出。通過(guò)USB接口連接到PC工作站。設(shè)計(jì)通用軟件Nspec是專門設(shè)計(jì)用于 8NSC-3061 的，它可以運(yùn)行一套現(xiàn)代SPM技術(shù)，具有廣泛處理數(shù)據(jù)的可能性。 軟件Nspec可以在不同的操作系統(tǒng)下運(yùn)行。

產(chǎn)品規(guī)格
 XY范圍        100x100 μm
 *小掃描步進(jìn)       0.1 nm
 整范圍內(nèi)的角度傾斜    < 0001°
 *大掃描速度    10 Hz（行/秒）
 *大樣品重量       100g
 諧振頻率XY          1 kHz
 非線性殘余            ≤0.03%
 傳感器類型              電容傳感器
內(nèi)置TDC（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器）位數(shù)      24位