島津μEDX型能量色散型微區(qū)X射線熒光光譜儀大幅度地提高了傳統(tǒng)的X射線熒光光譜儀無法完成的微小領(lǐng)域分析的靈敏度。配備新開發(fā)的X射線集束毛細(xì)管透鏡，實現(xiàn)了*小分析直徑達(dá)50μm的微區(qū)測定，適合半導(dǎo)體/電子部件/食品領(lǐng)域等高靈敏度、高分辨率分析。

儀器的特點：
采用島津**的Ｘ射線聚光透鏡[集束毛細(xì)管透鏡]，X射線只照射樣品的50μmφ微小領(lǐng)域，實現(xiàn)高靈敏度、高精度分析。
1、可以在大氣中進(jìn)行從輕元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。
2、配備雙CCD(高倍率,低倍率)攝像頭，可以在觀察樣品圖像的同時方便地決定分析位置，進(jìn)行分析。
3、標(biāo)準(zhǔn)配備無標(biāo)樣定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以測定聚合物薄膜的背景基本參數(shù)（BG-FP）法。
4、 作為微區(qū)Ｘ射線熒光光譜分析裝置，在世界上率先配備了5種1次Ｘ射線濾光片自動交換機(jī)構(gòu)，可消除來自Ｘ射線管的特征Ｘ射線，提高信噪比。
5、配備多元素同時/自動掃描成圖功能。采用高速掃描成圖，在短時間內(nèi)便可獲得圖像(μEDX-1200/1300)。追加透射觀察單元(選購)，也可進(jìn)行透射Ｘ射線的同時測定。
6、配備電子冷卻式高計數(shù)率檢測器。無需液氮，可進(jìn)行高精度分析。
(μEDX-1400)
7、可輕松地進(jìn)行電子材料/部件的鍍層膜厚測定、異物檢測、失效解析及成圖分析。