掃描電子顯微鏡 S-3400N
產(chǎn)品簡介
日立S-3400N型掃描電子顯微鏡在不需要金屬涂層或其它復(fù)雜的樣品制備技術(shù)條件下,此款新產(chǎn)品完全滿足了用戶對于含水,含油,和不導(dǎo)電樣品的研究需求。
產(chǎn)品詳細信息
日立S-3400N型掃描電子顯微鏡在不需要金屬涂層或其它復(fù)雜的樣品制備技術(shù)條件下,此款新產(chǎn)品完全滿足了用戶對于含水,含油,和不導(dǎo)電樣品的研究需求。
儀器主要特點:
1、先進的自動合軸功能(自動設(shè)定束流,自動光闌校準等)
2、更高的分辨率(3kV時10nm)
3、實時全屏圖像混合顯示,2分割畫面及信號混合顯示功能
4、新開發(fā)的高靈敏度固定背散射電子檢測器
5、計算機控制優(yōu)中心5軸馬達臺可以-20/+90度傾斜(II型)
6、可在80mm的樣品高度進行元素分析(II型)
7、具有*佳幾何條件的分析樣品室,可以同時安裝EDS,WDS和EBSD等多種自選件
8、由于采用渦輪分子泵(TMP),換樣快,體積小,耗電少,無需冷卻循環(huán)水系統(tǒng)
儀器技術(shù)參數(shù):
項目
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描述
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分辨率
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二次電子分辨率
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30kV,3.0nm(高真空模式)
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3kV,10nm(高真空模式)
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背散射電子分辨率
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30kV,4.0nm(高真空模式)
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放大倍率
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×5 - ×300,000
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加速電壓
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0.3 - 30kV
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低真空范圍
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6 - 270Pa 圖形菜單
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圖像移動
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±50µm, WD = 10mm
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*大樣品尺寸
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¢200mm
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樣品臺
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I型
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II型
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X
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0 - 80mm
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0 - 100mm
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Y
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0 - 40mm
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0 - 50mm
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Z
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5 - 35mm
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5 - 65mm
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R
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360°
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360°
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T
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-20 - 90°
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-20 - 90°
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*大樣品高度
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35mm(WD = 10mm)
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80mm(WD = 10mm)
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可觀測區(qū)
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¢105mm
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¢130mm
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驅(qū)動類型
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手動
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5軸馬達驅(qū)動
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電子光學(xué)
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電子槍
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預(yù)對中鎢燈絲
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物鏡光闌
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可移動4孔物鏡光闌
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槍偏壓
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4偏壓
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探測器
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二次電子探測器高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子探測器
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分析位置
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WD = 10mm, 取出角 = 35°
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顯示器
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語言
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英語
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操作系統(tǒng)
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Windows®XP
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控制模式
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鼠標,鍵盤,旋鈕
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顯示器
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19英寸液晶顯示器(如有更改,恕不另行通知)
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自動校準
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自動設(shè)定束流,自動合軸
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自動畫面調(diào)整
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自動聚焦,自動消象散/聚焦,自動調(diào)亮度和對比度
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存儲圖像精度
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640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素, 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素
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圖像存檔
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搜索功能/內(nèi)置圖像數(shù)據(jù)庫和圖像處理功能
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圖像格式
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BMP, TIFF, JPEG
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自動數(shù)據(jù)顯示
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加速電壓,放大倍率,微標尺,單位,底片號碼,工作距離,日期/時間,檢測器,壓力值
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圖像顯示模式
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全屏模式:1,280 × 960 像素
小屏模式:640 × 480 像素 雙屏模式:640 × 480 像素 ×2 信號混合模式 |
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真空系統(tǒng)
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操作
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全自動程序
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渦輪分子泵
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210L/Sec. × 1
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機械泵
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135L/Min.(162L/Min,60Hz) × 1
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**措施
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斷電保護,漏電保護
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輔助功能
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光柵旋轉(zhuǎn)
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動態(tài)聚焦/傾斜補償功能
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動態(tài)消像散
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自由排版打印功能
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三維動畫維修指南
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測量方便
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圖像傾斜
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