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原子力顯微鏡 XE-150

產品價格： < 面議
產品型號：XE-150
品 牌：Park Systems
公司名稱：上海仁特檢測儀器有限公司
所 在 地：上海浦東
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產品簡介

Park Systems XE-150型大樣品原子力顯微鏡的推出對大尺寸樣品進行無損檢測成為了一種切實可行的技術手段。XE-150分辨率高，性能穩(wěn)定可靠。樣品臺可在150毫米見方或者200毫米見方的量程內自動移動，無論是掃描小尺寸樣品還是大尺寸樣品，操作起來都是得心應手。

產品詳細信息

Park Systems XE-150型大樣品原子力顯微鏡的推出對大尺寸樣品進行無損檢測成為了一種切實可行的技術手段。XE-150分辨率高，性能穩(wěn)定可靠。樣品臺可在150毫米見方或者200毫米見方的量程內自動移動，無論是掃描小尺寸樣品還是大尺寸樣品，操作起來都是得心應手。如使用Step-and-Scan功能可幫助用戶按照定制的計劃對多個目標區(qū)域進行連續(xù)自動掃描，極大的提高了檢測效率。
儀器技術參數(shù)(機械部分)：
1. XY掃描器：100µm×100µm（閉環(huán)），可選配200µm×200 µm
2. Z掃描器：12µm (可選配25µm)
3. 水平度：50µm線掃描垂直偏差不超過2nm
4. XY和Z掃描器的正交性：1.0°
5. 樣品臺移動范圍：200mm×200mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 樣品尺寸：200mm×200mm
7. 光學觀察：垂直光路設計，可直接觀察微懸臂和樣品
儀器技術參數(shù)(電子部分)
1. 微處理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模數(shù)/數(shù)模：16位，500kHz采樣頻率
3. 圖像采集：同步自動采集16幅圖像，分辨率高達4096×4096像素
4. 通訊方式：采用基于TCP/IP協(xié)議的通訊方式與計算機聯(lián)接
5. 符合CE認證標準
標準工作模式：
. 真正非接觸模式(True non-contact mode)
. 接觸模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 橫向力模式(LFM)
擴展工作模式：
. 力測量（Force measurements）
. 導電（Conductive AFM）
. 電力（Electric Force）
. 電子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 機械 (Mechanical)
. 熱 (Thermal)
主要特點：
一、 徹底消除了掃描器的交叉耦合
二、 無損檢測將分辨率提高到了**
三、 易于同其他光學設備組合使用
四、 可便捷的更換樣品和探針
五、 可對多目標區(qū)域進行自動掃描
六、 150/200mm全程移動樣品臺

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