BSD-1標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置
氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正程序
一． 校正所需設(shè)備
1． 100級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)
2． 一臺(tái)用于作對(duì)比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，如Metone3400
3． 各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等
4． 標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器，如Model 255
5． 可產(chǎn)生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類(lèi)似裝置
6． 其它普通電器，如220V電源插座，萬(wàn)用表等等
二． 校正的基本原理
　　 標(biāo)準(zhǔn)粒子（如0.301um）通過(guò)255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過(guò)0.2um的過(guò)濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時(shí)，將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對(duì)取樣管進(jìn)行抽樣測(cè)試，并比校0.3um粒徑的測(cè)試值。如果其平均值在20%以?xún)?nèi)，認(rèn)為合格。如果不同型號(hào)的粒子計(jì)數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時(shí)間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測(cè)試結(jié)果。
三. 校正的基本步驟：
　　 現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見(jiàn)的Metone227B作校正
1． 首先，要清楚Metone3413和Metone227B有何差別，其測(cè)試原理一樣，但Metone3413流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Metone227B則為0.1CFM。
2． 首先，請(qǐng)將潔凈臺(tái)開(kāi)機(jī)，工作半小時(shí)，其間內(nèi)也打開(kāi)Metone227B和Metone3413，讓其預(yù)熱半小時(shí)。
3． 準(zhǔn)備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
4． 將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過(guò)噴嘴。
5． 設(shè)置Metone3413和Metone227B的基本參數(shù)
（1） 取樣時(shí)間都設(shè)置為00：01：00
（2） 取樣次數(shù)都設(shè)置03
（3） 取樣模式都設(shè)置為Auto
（4） 間隔時(shí)間都設(shè)置為00：00：05
（5） 讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
　　 注：以上設(shè)置相同，因其流速有10倍差，故Metone3413測(cè)試結(jié)果會(huì)是Metone227B的10倍。
6． 此時(shí)，打開(kāi)255電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后，保持其工作狀態(tài)。
7． 此時(shí)，讓Metone227B和Metone3413同時(shí)工作，看其三次的平均結(jié)果，若在20%以?xún)?nèi)，視為合格。
8． 拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測(cè)試。
9． 以上校正只是對(duì)比校正，尚可用萬(wàn)用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量，用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來(lái)輔助調(diào)校。