橢圓偏振法測量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、醫(yī)學(xué)等諸多領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。因為它具有靈敏度高、精度高、非破壞性測量等優(yōu)點。

橢圓偏振測厚儀特點：
 ·儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點；
 ·光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高；
 ·儀器配有生成表、查表以及**計算等軟件，方便用戶使用。

橢圓偏振測厚儀主要技術(shù)指標(biāo)：
測量范圍
薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1.05-2.50
測量*小值：≤1nm
入射光波長：632.8nm
光學(xué)中心高：80mm
允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤18mm
偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°
外形尺寸：680*390*320mm
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：±0.5nm和±0.005
主機(jī)重量：25kg
入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍：30°- 90°精度為0.05°