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氣體質(zhì)量流量控制器M3090A

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點(diǎn)擊量： 253259 來源： 大連風(fēng)華傳感科技有限公司
氣體質(zhì)量流量控制器M3090A，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，無需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量控制器M3090A是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與電腦連接自動(dòng)控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而**地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有輕微的變化，也不會(huì)影響其正常的工作。
 
氣體質(zhì)量流量控制器M3090 A產(chǎn)品亮點(diǎn)：
 
-類    型：MFC氣體質(zhì)量流量控制器
-控制范圍：10sccm ～ 20slpm (sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分)  
-準(zhǔn)度等級(jí): ±1% F.S
-耐    壓：≤90bar
-標(biāo)準(zhǔn)接口：0-5VDC，4-20mA可選
-響應(yīng)時(shí)間：≤2sec
-使用范圍：2~100%for max range
-供電電源：+15~+28Vdc, 350Ma
-漏    率：1×10-9atm·cc/sec
-氣路連接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR
-適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體）
-無需溫度、壓力補(bǔ)償
 
氣體質(zhì)量流量控制器M3090A
 
產(chǎn)品型號(hào)
M3090V
M3090A
  流量范圍 (N2)
 10sccm ～20slpm
 10sccm ～20slpm
  響應(yīng)時(shí)間
 ≤2秒
  ≤2秒
  準(zhǔn)確度
  ≤±1% 滿量程
  ≤±1% 滿量程
 重復(fù)精度
  ≤±0.25% 滿量程
 ≤±0.25% 滿量程
 輸出輸入信號(hào)
 0~5Vdc
  0~5Vdc或4~20毫安
  供電
 +15~+28Vdc，350毫安
  +15~+28Vdc，350毫安
  耐壓
  ≤90bar
 ≤90bar
 工作環(huán)境溫度
  0~50°C
  0~50°C
 
應(yīng)用領(lǐng)域：
－分析儀器    －干刻（RIE/DRIE）    －燃料電池
－生物技術(shù)    －氣相色譜分析        －等離子刻蝕
－激光焊機(jī)    －混氣配氣系統(tǒng)        －微反應(yīng)裝置
－真空鍍膜    －過程自動(dòng)化          －石化工業(yè)