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新品推介:氣體質(zhì)量流量控制器M3090V

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點(diǎn)擊量: 253236 來源: 大連風(fēng)華傳感科技有限公司
新品推介:氣體質(zhì)量流量控制器M3090V,采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,無需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量控制器M3090V是一個可以手動設(shè)定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置,能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而**地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微的變化,也不會影響其正常的工作。
 
氣體質(zhì)量流量控制器M3090V產(chǎn)品亮點(diǎn):
 
-類    型:MFC氣體質(zhì)量流量控制器
-控制范圍:10sccm ~ 20slpm (sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分) 
-準(zhǔn)度等級: ±1% F.S
-耐    壓:≤90bar
-標(biāo)準(zhǔn)接口:0-5VDC,4-20mA可選
-響應(yīng)時間:≤2sec
-使用范圍:2~100%for max range
-供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma
-漏    率:1×10-9atm·cc/sec
-氣路連接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR
-適用介質(zhì):所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體)
-無需溫度、壓力補(bǔ)償
 
氣體質(zhì)量流量控制器M3090V
 
產(chǎn)品型號
M3090V
M3090A
  流量范圍 (N2)
 10sccm ~20slpm
10sccm~ 20slpm
  響應(yīng)時間
 ≤2秒
  ≤2秒
  準(zhǔn)確度
  ≤±1% 滿量程
  ≤±1% 滿量程
 重復(fù)精度
  ≤±0.25% 滿量程
 ≤±0.25% 滿量程
 輸出輸入信號
 0~5Vdc
  0~5Vdc或4~20毫安
  供電
 +15~+28Vdc,350毫安
  +15~+28Vdc,350毫安
  耐壓
  ≤90bar
 ≤90bar
 工作環(huán)境溫度
  0~50°C
  0~50°C
 
應(yīng)用領(lǐng)域:
-分析儀器    -干刻(RIE/DRIE)    -燃料電池
-生物技術(shù)    -氣相色譜分析        -等離子刻蝕
-激光焊機(jī)    -混氣配氣系統(tǒng)        -微反應(yīng)裝置
-真空鍍膜    -過程自動化          -石化工業(yè)