新品推介:氣體質(zhì)量流量控制器M3090V,采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,無需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量控制器M3090V是一個可以手動設(shè)定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置,能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而**地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微的變化,也不會影響其正常的工作。
氣體質(zhì)量流量控制器M3090V產(chǎn)品亮點(diǎn):
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-類 型:MFC氣體質(zhì)量流量控制器
-控制范圍:10sccm ~ 20slpm (sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分)
-準(zhǔn)度等級: ±1% F.S
-耐 壓:≤90bar
-標(biāo)準(zhǔn)接口:0-5VDC,4-20mA可選
-響應(yīng)時間:≤2sec
-使用范圍:2~100%for max range
-供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma
-漏 率:1×10-9atm·cc/sec
-氣路連接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR
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-適用介質(zhì):所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體)
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-無需溫度、壓力補(bǔ)償
氣體質(zhì)量流量控制器M3090V
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應(yīng)用領(lǐng)域:
-分析儀器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料電池
-生物技術(shù) -氣相色譜分析 -等離子刻蝕
-激光焊機(jī) -混氣配氣系統(tǒng) -微反應(yīng)裝置
-真空鍍膜 -過程自動化 -石化工業(yè)
-分析儀器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料電池
-生物技術(shù) -氣相色譜分析 -等離子刻蝕
-激光焊機(jī) -混氣配氣系統(tǒng) -微反應(yīng)裝置
-真空鍍膜 -過程自動化 -石化工業(yè)