早在二十世紀六十年代，**個層流室的建立就已經開始出現(xiàn)FFU的應用了。但直到1984年，在亞洲才出現(xiàn)大規(guī)模應用FFU的事例(大約有5000臺)。是什么原因導致FFU在這么長的時間沒有得到廣泛的發(fā)展呢?有三個問題占主導地位。
**：噪聲問題。各位可以想一想，在當時的生產工藝水平下，5000臺風機在一起的噪聲會是多大呢?
**：壓力平衡。在很大的靜壓箱里，每一個不同角落的風機是否能得到均衡的壓力，這在當時也是不能夠得到保證的。
第三：維護問題。FFU本身造價就比較高，如果它的電機壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。這些都是造成當時的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。
但是這一切，在1984年都發(fā)生了改變。首先是噪聲問題得到了控制，大規(guī)模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下，這符合工業(yè)廠房的標準。其次隨著自動控制的發(fā)展，監(jiān)測和調節(jié)各個角落的靜壓也變得容易起來。*后電機的壽命隨著技術的提高也得到了質的飛躍。
現(xiàn)在，隨著半導體電子技術的發(fā)展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級。
**、靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
**、可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三、負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且**。
第四、縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五、減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用大循環(huán)減少40%的運行成本。
風機過濾單元/層流送風單元/FFU/空氣過濾單元/空氣過濾機/百級層流罩統(tǒng)稱 ：層流罩
1 FFU及其性能
FFU是FAN FILTERUNIT的縮寫，中文稱作“風機過濾器單元”也就是將風機和過濾器(高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA))組合在一起構成自身能提供動力的末端凈化設備。過去在潔凈工程中常用的帶風機的高效過濾器的送風口，自凈器，層流罩等都是FFU的一種。不過，現(xiàn)在所說的FFU是具有標準模數(shù)尺寸，能按模數(shù)組合起來實現(xiàn)1級、10級、100級、1000級等不同級別的潔凈室的凈化單元設備。目前，國內、外常用的模數(shù)有1200X6mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mlTl。
FFU一般由以下四部分組成：風機、過濾器、機殼、電器控制元件。
2 FFU的應用
2.1 適應性
2.2 經濟性
2.3 風量和余壓
2.4 噪聲
2.5 控制
2.6 維護管理
3 FFU的選擇
3.1 試驗方法和試驗裝置
3.2 結果分析
(1)FU機組內的高效過濾器的初阻力均不相同，大約在120—150Pa之間。
(2)當高效過濾器為初阻力，且保證FFU送風斷面風速為0.35m/s時，不同F(xiàn)FU的機外余壓均在100Pa左右，有的高達130Pa。
當FFU送風斷面風速為0.45m/s時，各機組的機外余壓，都能在60Pa以上。
當FFU送風斷面風速為0.45m/s時，被測的FFU的機外余壓都是足以克服循環(huán)通道上的阻力。
(3)FFU的聲壓級噪聲大多在57dB(A)～59dB(A)之間。比較好的品牌其噪聲在54dB(A)。
(4)各不同晶牌的FFU的能耗大多在160～180W，只有個別品牌的能耗大，高達350W是一般能耗的一倍。
公安機關備案號：
