新STM7測量顯微鏡在工業(yè)應(yīng)用中有效的測量不同組件
奧林巴斯總公司今天宣布STM7測量顯微鏡通過科學(xué)的解決方案有效的測量加工零部件、半導(dǎo)體、電子元器件和工業(yè)生產(chǎn)過程的其他組件,逐步從2014年11月4日開始國際銷售。
測量顯微鏡是同時可用于非接觸式的形狀測定,并作為一種金相顯微鏡的光學(xué)儀器。它們是用于有效的非接觸式測量各種零部件和裝配的樣品。除了它們的傳統(tǒng)用于測量加工零部件之外,還包括越來越多的半導(dǎo)體元件測量在移動設(shè)備中。
新STM7的特色有一個大正方形載物臺用于保持具有各種尺寸和形狀的部件可以在同一時間內(nèi)測定樣品。顯微鏡框架還具有高剛性和耐振動花崗巖表面板,以確保它保持在長時間測量的可靠性。使用所述測量的同時還支持軟件和數(shù)碼相機(jī),與顯微鏡結(jié)合操作簡便,又可以準(zhǔn)確測量復(fù)雜形狀的能力。
●主要特點
1.在大型載物臺上高效的檢驗
2. 顯微鏡框架具有高剛性和耐振動花崗巖表面板準(zhǔn)確地精密測量
3. 使用所述測量的同時還支持軟件和數(shù)碼相機(jī),與顯微鏡結(jié)合操作簡便,又可以準(zhǔn)確測量復(fù)雜形狀的能力。
●推出背景
近年來從在制造和裝配應(yīng)用中出現(xiàn)了不斷增長的需求。 隨著對加工零件測量常規(guī)的使用,這種需求也是用于測量半導(dǎo)體微電子器件和精密部件在移動數(shù)字設(shè)備中或者用來評估零件校準(zhǔn)。結(jié)合金相顯微鏡的功能和測量儀器,測量顯微鏡可以作為獨(dú)立的儀器進(jìn)行準(zhǔn)確的測量并引導(dǎo)它們在檢查工作中不同范圍的使用。
通過發(fā)布STM7作為STM6的后繼者(2001年3月推出),奧林巴斯正在尋求進(jìn)一步完善檢驗工作的制造和裝配效率。
●主要功能的詳細(xì)信息
1.大型載物臺高效的檢查
該STM7配備了一個大型300毫米×300毫米的方形載物臺(用于樣本進(jìn)行檢查或測量)已經(jīng)被先前的250毫米×150毫米載物臺所替代。這使得可以測量大樣品,如印刷電路板或300mm的半導(dǎo)體晶片,無需改變方向。大的載物臺還允許一些少量樣品同時被放置在載物臺上而提高了生產(chǎn)率。
2. 顯微鏡框架具有高剛性和耐振動花崗巖面板準(zhǔn)確地精密測量。
為了能夠測量零件尺寸或組裝精度為0.1μm的分辨率,測量顯微鏡必須保持穩(wěn)定,耐振動。顯微鏡框架具有高剛性和耐振動花崗巖表面板準(zhǔn)確地精密測量。
3. 使用所述測量的同時還支持軟件和數(shù)碼相機(jī),與顯微鏡結(jié)合操作簡便,又可以準(zhǔn)確測量復(fù)雜形狀的能力。
當(dāng)STM7-BSW測量輔助軟件和奧林巴斯顯微鏡數(shù)碼相機(jī)一起使用, STM-7可以執(zhí)行更復(fù)雜的形狀**的測量,同時操作簡便,導(dǎo)出測量結(jié)果到Microsoft Excel中也很容易實現(xiàn),便于生成報告。
●主要技術(shù)指標(biāo)
小型手動框架STM7-SF 小型電動框架STM7-SFA | 中型手動框架STM7-MF | 大型手動框架STM7-LF STM7-LFA | |||
顯微鏡機(jī)身 | 聚焦 | *大測量高度 | 120mm(帶測量目鏡), 175mm(帶金相目鏡) | 90 mm (帶測量目鏡), 145 mm* (帶金相目鏡) | |
目鏡 | 用于測量顯微鏡 | MM6-OB 系列 | |||
用于金相顯微鏡 | MPLFLN 系列, LMPLFLN系列, MPLFLN-BD系列, LMPLFLN-BD 系列 | ||||
載物臺 | 測量范圍 | STM7-CS50: X軸 50mm Y軸50mm STM7-CS100: X軸 100mm Y軸100mm | STM7-CS200: X軸 200mm Y軸 200mm | STM7-CS300: X軸 300mm Y軸 300mm | |
測量精度 | STM7-CS50: (3+L/50)µm | (3+4L/200)µm | (3+6L/300)µm | ||
計數(shù)器顯示 | 軸數(shù) | 3軸 | |||
*小分辨率 | 0.1µm | ||||
尺寸 | 466 x 583 x 651 | 606 x 762 x 651 | 804 x 1024 x 686 | ||
重量(kg) | 84kg/92kg (約) | 152kg/159kg (約) | 277kg/284kg (約) |