等離子清洗機原理
等離子清洗機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這時會發(fā)出輝光,故稱為輝光放電處理。 輝光放電時的氣壓大小對材料處理效果有很大,影響另外與放電功率,氣體成分及流動速度、材料類型等因素有關(guān)。
等離子清洗機原理
這種等離子體有一些顯著的特征:
1 .氣體產(chǎn)生輝光現(xiàn)象,常稱為“輝光放電” 。由于是真空紫外光,其對蝕刻率有十分積極的影響。
2. 氣體中包含中性粒子、離子和電子。 由于中性粒子和離子溫度介于102 —103K,電子能量對應(yīng)的溫度高達105K ,它們被稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”。 但是它們卻表現(xiàn)出電中性準中性。
3. 氣體所產(chǎn)生的自由基和離子活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)。等離子體中粒子的能量一般約為幾個至幾十電子伏特,大于聚合物材料的結(jié)合鍵能(幾個至十幾電子伏特), 完全可以破裂有機大分子的化學(xué)鍵而形成新鍵;但遠低于高能放射性射線,只涉及材料表面不影響基體的性能。
等離子清洗機原理
等離子體可以通過DC或高頻AC電場產(chǎn)生。當(dāng)采用AC時,只能選用電信規(guī)定的科研及工業(yè)用頻段(中頻MF40KHz、射頻RF13.56MHz、微波頻率MW2.45GHz)否則會干擾無線電通信。