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潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

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中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

(部分章節(jié))

GBJ73-84

 

**章  總則

**章  空氣潔凈度等級

第三章   總體設(shè)計

第五章  空氣凈化

第七章  工業(yè)氣體管道

 

 

**章 總則

第1.0.1條潔凈廠房設(shè)計必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策,做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、**適用、確保質(zhì)量,符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。

第1.0.2條本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的潔凈廠房設(shè)計,但不適用于以**為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定,不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設(shè)計。

第1.0.3條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時,潔凈廠房設(shè)計必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求,因地制宜、區(qū)別對待,充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。

第1.0.4條潔凈廠房設(shè)計應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、測試和**運行創(chuàng)造必要的條件。

第1.0.5條潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外,尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。

 

**章 空氣潔凈度等級

第2.0.1條空氣潔凈度應(yīng)按表2.0.1規(guī)定劃分為四個等級。

空氣潔凈度等級表2.0.1

等 級

每立方米(每升)空氣中

≥0.5微米塵粒數(shù)

每立方米(每升)空氣中

≥5微米塵粒數(shù)

100 級

≤35×100(3.5)

 

1000 級

≤35×1000(35)

≤250(0.25)

10000 級

≤35×10000(350)

≤2500(2.5)

100000 級

≤35×100000(3500)

≤25000(25)

注:對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計算應(yīng)進(jìn)行多次采樣。當(dāng)其多次出現(xiàn)時,方可認(rèn)為該測試數(shù)值是可靠的。

第2.0.2條潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗,應(yīng)以動態(tài)條件下測試的塵粒數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測試,應(yīng)符合附錄二規(guī)定。

 

 

第三章  總體設(shè)計

**節(jié)潔凈廠房位置選擇和總平面布置

第3.1.1條潔凈廠房位置的選擇,應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定:

一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低,自然環(huán)境較好的區(qū)域;

二、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時,則應(yīng)位于其*大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè),或全年*小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè);

三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地段。

第3.1.2條對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇,應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響,并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動值進(jìn)行分析比較。

第3.1.3條潔凈廠房*大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時,潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。

第3.1.4條  潔潔廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。

第3.1.5條潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道(可利用交通道路),如有困難時,可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道。

第3.1.6條潔凈廠房周圍的道路面層,應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵少的材料。

第3.1.7條潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化??射佒膊萜骸⒎N植對大氣含塵農(nóng)度不產(chǎn)生有害影響的樹木,并形成綠化小區(qū)。但不得妨礙消防操作。

**節(jié)工藝布置和設(shè)計綜合協(xié)調(diào)

第3.2.1條工藝布置應(yīng)符合下列要求:

一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。

二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置,靠近潔凈區(qū)人口處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室。

三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。

四、應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。

五、應(yīng)設(shè)置單獨的物料人口,物料傳遞路線應(yīng)*短,物料進(jìn)入潔凈區(qū)之前必須進(jìn)行清潔處理。

第3.2.2條潔凈廠房內(nèi)宜少設(shè)隔間,但在下列情況下可予以分隔。

一、按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。

二、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生較強(qiáng)噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體,且不能采取局部措施加以控制者。

三、生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)車間之間。

第3.2.3條潔凈廠房的平面和空間設(shè)計,宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房進(jìn)行分區(qū)布置。同時應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、氣流組織型式、管線布置以及凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)效果。

第3.2.4條潔凈廠房設(shè)計必須合理確定各種管線的平面位置和豎向標(biāo)高。

第3.2.5條潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施(如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等)的布置,宜首先考慮凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的要求。

第三節(jié)噪聲控制

第3.3.1條潔凈室內(nèi)的噪聲級,應(yīng)符合下列要求:

一、動態(tài)測試時,潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過70分貝A。

二、空態(tài)測試時,亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A;層流潔凈室的噪聲級不應(yīng)大于65分貝A。

注:(1)由于技術(shù)經(jīng)濟(jì)條件限制,或噪聲大于70分貝A對生產(chǎn)無影響時,噪聲級可適當(dāng)放寬,但不宜大于75分貝A;

    (2)上述噪聲級是指在室內(nèi)每一個工作點人耳位置(人離開)的測量值。對于變動噪聲,則取相同位置處在一個正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級。

第3.3.2條潔凈室的噪聲頻譜限制,應(yīng)采用倍頻程聲太級;各頻帶聲壓級值不宜大于表3.3.2的規(guī)定。

第3.3.3條潔凈廠房的平、剖面布置,應(yīng)考慮噪聲控制的要求,其圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能,并宜使各部分隔聲量相接近。

第3.3.4條潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設(shè)備,應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。

第3.3.5條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時,應(yīng)采取隔聲、消聲、隔聲振等控制措施。

除事故排風(fēng)外,應(yīng)對潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行減噪設(shè)計。

第3.3.6條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng),根據(jù)室內(nèi)噪聲級的要求,風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用:

一、總風(fēng)管為6~10米/秒。

二、無送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為6~8米/秒。

三、有送、回風(fēng)口的大風(fēng)管為3~6米/秒。

第3.3.7條潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求,不得因控制噪聲而影響潔凈室的凈化條件。

第四節(jié)振動控制

第3.4.1條潔凈廠房和周圍輔助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道,應(yīng)采取積極隔振措施。

第3.4.2條對潔凈廠房內(nèi)外各類振源,應(yīng)測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制,也可根據(jù)經(jīng)驗對綜合振動影響進(jìn)行評價。并應(yīng)與精密設(shè)備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動值進(jìn)行比較,以確定對其采取必要的隔振措施。

第3.4.3條精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施,應(yīng)考慮減少發(fā)生量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空氣彈簧隔振臺座時,應(yīng)地氣源進(jìn)行處理,使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級。

 

 

第五章 空氣凈化

**節(jié)一般規(guī)定

第5.1.1條潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定,應(yīng)符合下列要求:

一、潔凈室內(nèi)有多種工序時,應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求,采用不同的空氣潔凈度等級。

二、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下,潔凈室的氣流組級別,宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。

第5.1.2條 層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室,其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。

第5.1.3條潔凈室內(nèi)的計算溫、溫度、應(yīng)符合下列規(guī)定:

一、滿足生產(chǎn)工藝要求

二、生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時,潔凈室溫度為20~26度,溫度70度。

第5.1.4條潔凈室內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量,其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的*大值;

一、亂流潔凈室總送風(fēng)量的10%~30%,層流潔凈室總送風(fēng)量的2~4%。

二、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量。

三、保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。

第5.1.5條潔凈區(qū)的清掃,宜采用移動式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道,應(yīng)暗敷。

第5.1.6條在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計中,對施工和維護(hù)管理要求,可按附錄四和附錄五的規(guī)定。

**節(jié)潔凈室正壓控制

第5.2.1條潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差,應(yīng)不小于4.9Pa,潔凈區(qū)與室外的靜壓差,應(yīng)不小于9.8Pa。

第5.2.2條潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量,宜按下式計算:

Q=q1·Σ(q·L)      (5.2.2)

     式中 Q––維持潔凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量(米3/時);

     a––根據(jù)圍擴(kuò)結(jié)構(gòu)氣密性確定的**系數(shù),可取1.1~1.2;

      q––當(dāng)潔凈室為某一正壓值時,其圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量(米3/時·米);

      L––圍擴(kuò)結(jié)構(gòu)的縫隙長度(米)。

第5.2.3條圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量,可按表5.2.3采用。`

壓差(Pa)

    門       窗       形        式

非密閉門

密閉門

單層固定密閉木窗

單層固定密閉鋼窗

單層開啟式密閉鋼窗

傳遞窗

壁板

  漏風(fēng)量(米3/時·米)

4.9

17

4

1.0

0.7

3.5

2.0

0.3

9.8

24

6

1.5

1.0

4.5

3.0

0.6

14.7

30

8

2.0

1.3

6.0

4.0

0.8

19.6

36

9

2.5

1.5

7.0

5.0

1.0

24.5

40

10

2.8

1.7

8.0

5.5

1.2

29.4

44

11

3.0

1.9

8.5

6.0

1.4

34.3

48

12

3.5

2.1

9.0

7.0

1.5

39.2

52

13

3.8

2.3

10.0

7.5

1.7

44.1

55

15

4.0

2.5

10.5

8.0

1.9

49.0

60

16

4.4

2.6

11.5

9.0

2.0

第5.2.4條送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時,聯(lián)軸和序應(yīng)為先啟動送風(fēng)機(jī),再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī),系統(tǒng)關(guān)閉時,則聞鎖程序應(yīng)相反。

第5.2.5條非連續(xù)運行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班風(fēng)機(jī),并應(yīng)對新風(fēng)進(jìn)行處理。

第三節(jié)氣流組組織和送風(fēng)量

第5.3.1氣流組織的選擇,應(yīng)符合下列要求:

一、潔凈工作區(qū)的氣流速度,應(yīng)滿足空氣潔凈度和人體健康的要求,并應(yīng)使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)氣流流向單一。

二、回風(fēng)口宜均勻布置在潔凈室下部。

三、余壓閥宜設(shè)在潔凈室氣流的下風(fēng)側(cè),不宜設(shè)在潔凈工作區(qū)高度范圍內(nèi)。

第5.3.2條潔凈室的氣流組織和送風(fēng)量,宜按表5.3.2選用。

第5.3.3條亂流潔凈室的送風(fēng)量,應(yīng)取下列規(guī)定的*大值;

一、為控制室內(nèi)空氣潔凈度所需要的送風(fēng)量。

二、按表5.3.2規(guī)定的送風(fēng)量。

三、根據(jù)熱、濕負(fù)荷計算和稀釋有害氣體所需的送風(fēng)量。

四、按空氣平衡所需要的送風(fēng)量。

第5.3.4條當(dāng)生產(chǎn)工藝僅要求在潔凈室內(nèi)局部工作區(qū)達(dá)到更高的空氣潔凈度時,其氣流組織設(shè)計應(yīng)使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘?jīng)該工作區(qū),或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區(qū),其型式可分別按圖5.3.4-1、5.3.4-2。

第5.3.5條層流潔凈室內(nèi)不宜設(shè)置潔凈工作臺;亂流潔凈室內(nèi)可設(shè)置潔凈工作臺,但其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。
第5.3.6條潔凈室內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時,其位置應(yīng)設(shè)在工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)。

第四節(jié)空氣凈化處理

第5.4.1條各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。

注1:100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

第5.4.2條確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時,應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面積較大時,位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴(yán)格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

第5.4.3條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng),凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r,則不應(yīng)用回風(fēng)。

第5.4.4條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外,應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。

第5.4.5條空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合下列要求:

一、初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器。

二、中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段。

三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端。

四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用。

五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)。

六、高效空氣過濾器安裝方式應(yīng)簡便可靠,易于檢漏和更換。

第5.4.6條送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。

第5.4.7條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時,應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火**措施。

第五節(jié)采暖通風(fēng)

第5.5.1條潔凈室的采暖型式,應(yīng)按下列不同情況確定:

一、100級、1000級、10000級潔凈室,不應(yīng)采用散熱器采暖,100000級潔凈室???不宜采用散熱器采暖。

二、值班采暖可利用技術(shù)夾道的散熱器進(jìn)行間接采暖?;虿捎瞄g歇運行凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng),值班風(fēng)機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行熱風(fēng)采暖。

第5.5.2條散熱器應(yīng)采用表面光滑不易積塵、便于清掃的形式。

第5.5.3條潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備,應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置、排風(fēng)罩的操作口面積應(yīng)盡量縮小。

第5.5.4條局部排風(fēng)系統(tǒng)在下列情況下,應(yīng)單獨設(shè)置:

一、非同一凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

二、排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性。

三、所排出的有害物毒性相差很大。

第5.5.5條潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計,應(yīng)采取下列措施:

一、防倒灌措施。

二、含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火、防爆措施。

第5.5.6條換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等,應(yīng)采取通風(fēng)措施,其室內(nèi)的靜壓值,應(yīng)低于潔凈區(qū)。

第5.5.7條潔凈室事故排風(fēng)系統(tǒng)的換氣次數(shù),應(yīng)采用每小時15~20次。

事故排風(fēng)裝置的控制開關(guān),應(yīng)分別設(shè)在潔凈室和室外便于操作的地點,并應(yīng)與凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖,其室內(nèi)宜設(shè)報警裝置。

第六節(jié)風(fēng)管和附件

第5.6.1條風(fēng)管斷面尺寸的確定,應(yīng)考慮能對風(fēng)管內(nèi)壁進(jìn)行清潔處理,并在適當(dāng)位置設(shè)置密閉的清掃口。風(fēng)管壁厚按附錄六選用。

第5.6.2條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)管、回風(fēng)總管,應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送風(fēng)機(jī)的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處,應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送風(fēng)機(jī)的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處,應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng),應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或密閉閥??傦L(fēng)管穿過樓板和風(fēng)管穿過防火墻處,必須設(shè)置防火閥。

第5.6.3條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥以及高效空氣過濾器的保護(hù)網(wǎng)、孔板和擴(kuò)散孔板等附件的制作材料和涂料,應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。

潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、調(diào)節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料,應(yīng)根據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。

第5.6.4條在中效和高效的空氣過濾器前后,應(yīng)設(shè)置測壓孔。在新風(fēng)管和送回風(fēng)總管以及需要調(diào)節(jié)風(fēng)量的支管上,應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測定孔。

第5.6.5條排除腐蝕性氣體的風(fēng)管,可采用塑料風(fēng)管,其他風(fēng)管以及風(fēng)管的保溫和游泳場材料及其粘結(jié)劑,應(yīng)采用非燃燒材料或難燃燒材料。

 

第七章 工業(yè)氣體管道

**節(jié)一般規(guī)定

第7.1.1條工業(yè)氣體管道的干管,應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫氣和氧氣管道且明敷,如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時,應(yīng)采取良好的通風(fēng)措施。

引入潔凈的支管宜明敷。

第7.1.2條高純氣體管道設(shè)計,應(yīng)符合下列要求:

一、根據(jù)計算確定管徑。

二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。

三、不宜設(shè)預(yù)留口。

四、不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位。

五、干管不支管上應(yīng)設(shè)置吹除口。

六、在管系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置吹除口。

第7.1.3條穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道,應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi),套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

第7.1.4條氫氣和氧氣管道的末端或*高點宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米,并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。

第7.1.5條氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體統(tǒng)一計劃的要求進(jìn)行選擇。氣體終端凈化裝置應(yīng)設(shè)在靠近用氣點處。

第7.1.6條氣體過濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對氣體含塵量的要求進(jìn)行選擇。高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)高效氣體過濾器。

**節(jié)管道材料、閥門和附件

7.2.1條根據(jù)不同的氣體及其純度和用途,管道材料應(yīng)按下列規(guī)定選用:

一、氣體純度大小或等于99.999%時,應(yīng)采用不銹鋼管。

二、氣體純度大于或等于99.99%時,宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管。

三、氣體純度小于99.99%時,可采用無縫鋼管。

四、管道與設(shè)備的連接段,宜采用金屬管道;如為非金屬軟管時,宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管、不得采用乳膠管。

第7.2.2條高純氣體管道應(yīng)采用密封性能好的低門和附件,其材料與管道相適應(yīng)。閥門的密合圈應(yīng)為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應(yīng)采用聚四氟乙烯材料。

第7.2.3 高純氣體管道與附件連接的密封墊,應(yīng)采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。

第三節(jié)管道連接和清洗

第7.3.1條管道連接應(yīng)采用焊接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊。

第7.3.2條管道與設(shè)備、閥門的連接處,宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。

第7.3.3條 高純性氣體管道內(nèi)的內(nèi)壁、閥門和附件在安裝前,應(yīng)進(jìn)行清洗、脫脂等預(yù)處理。

第四節(jié)**技術(shù)

第7.4.1條工業(yè)氣體管道設(shè)計的**技術(shù),應(yīng)符合下列規(guī)定;

一、氫氣管道的支管和放散管上,應(yīng)設(shè)置回火防止器。

二、氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電裝置。

三、各種氣體管道應(yīng)設(shè)明顯標(biāo)志。

第7.4.2條潔凈室內(nèi)使用氫氣時,宜在室內(nèi)設(shè)置報警裝置。

第7.4.3條各種氣瓶應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外,當(dāng)日用氣量不超過一瓶時,氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)。