單電容平板壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理
電容式傳感器分為極距變化型、面積變化型,當(dāng)被測參數(shù)的變化通過這三種情況之一直接影響電容量的大小時,檢測出電容的變化時就等于獲得了被測參數(shù)的大小,電容式壓力傳感器常采用極距變化型。壓力使傳感器**的可動部件即測量膜片極板產(chǎn)生微小的位移,造成與固定極板所形成的電容量發(fā)生變化。
雙電容平板差動型壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理
為提高靈敏度和減小非線性,大多壓力傳感器休用雙電容平板差勁結(jié)構(gòu),可動極板位于兩塊固定板極之間,與兩固定極板等距離,當(dāng)壓力使可動極板向上移動時,引起差動電容增大,減小。
與單電容式壓力傳感器相比,不僅靈敏度提高,非線性誤差也變小了,可見差動式壓力傳感器優(yōu)于單電容壓力傳感器。