• 含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進行SEM觀察
• 從低真空到大氣壓（數(shù) Pa～105 Pa），可在大范圍壓力下進行SEM觀察
• 標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector（電子束散射校正）圖像改善功能
• 在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進行EDX分析（選配）
• 主機采用330 mm寬度的小型設(shè)計，實現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
• 無需等待抽真空時間，快速實現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程

概要

大氣壓觀察（圖1）

• 樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下（105 Pa）
• 配置樣品的大氣壓倉室與SEM內(nèi)部由隔膜分離，在保持SEM內(nèi)部真空的同時，可對樣品進行電子束照射觀察
• 而且，可通過附帶的真空泵在負(fù)壓下（約103～105 Pa）進行觀察

低真空觀察（圖2）

• 隔膜可拆卸，還可進行低真空SEM觀察和EDX分析
• 搭載了日立臺式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器

圖1：大氣壓或負(fù)壓觀察時

圖2：低真空觀察時

• 項目	內(nèi)容
  電子槍	預(yù)對中燈絲
  檢測系統(tǒng)	高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器
  加速電壓	5 kV/15 kV
  倍率	×15～×60,000（使用數(shù)碼變焦時：×240,000）
  觀察壓力	大氣壓模式（105 Pa）（裝有隔膜時）
  	負(fù)壓模式（約103 Pa～105 Pa）（裝有隔膜時）
  	低真空模式（數(shù) Pa～數(shù)10 Pa）（拆下隔膜時）
  大樣品尺寸	直徑55 mm
  大小和重量	主機：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手動操作臺） 控制裝置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2臺