日本NIKON尼康 CNC視頻圖象坐標測量儀
NEXIV VMR-K3040ZC產(chǎn)品敘述:
這是一款共聚焦(Confocal)型的視頻圖象坐標測量儀，它能夠在同一視場內(nèi)，同時完成二維平面和一維高度的高精度測量。高速、高精度地檢測*先進的IC封裝的立體形狀。
明場
共聚焦
合成效果 應(yīng)用領(lǐng)域：
硅片級芯片封裝(二維＋高度)、MEMS、Probe Card等。
特點
領(lǐng)先業(yè)界之非接觸式影像/Laser量測系統(tǒng) 新開發(fā)之大面積高度資訊探測功能分析應(yīng)用 高精度之高度量測 重複精度: 0.35um (with 3X and 2 σ) 測高速度: 1.5 sec (1 cycle time)
物鏡選擇
倍率
1.5x
3x
7.5x
工作距離(W.D.)
24mm
5mm
Confocal optics (測高範圍)
*大測高距離
1mm
視野
8mm x 6mm
4mm x 3mm
1.6mm x 1.2mm
Z 軸重複性 (2σ)
0.6μm
0.35μm
0.25μm
粵公網(wǎng)安備 51012402000291號
