高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列

• 概要
• 規(guī)格

概要

SEC-8000F/D/E 系列, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實(shí)現(xiàn)超潔凈狀況下百萬(wàn)分之上等別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體制程需求。 而HORIBA集團(tuán)也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。

特征

• 具備數(shù)字式流量計(jì)的高精度性能-高控制精度：±1.0% 設(shè)定流量.
• 超快速響應(yīng)
• 超潔凈處理
• 滿足RoHS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)

制造: HORIBA STEC