數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-N100 系列

• 概要
• 規(guī)格

概要

適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用?？蓪崿F(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應(yīng)。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。

*1包括SEC-N177R

特征

• 大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
• 多種通訊方式及電源供給

型號	選擇通訊方式	選擇供電方式
SEC-N102 系列	數(shù)字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬式通訊 ?0～5VDC	HORIBA可提供PE系列供應(yīng)電源
SEC-N104 系列	DeviceNet? 通訊	符合ODVA標(biāo)準(zhǔn)
SEC-N105 系列	CC-Link®通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA	符合  CC-Link®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 ~ 32VDC)
SEC-N106系列	PROFIBUS? 通訊方式	符合PROFIBUS? 標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 to 32VDC)
	模擬式通訊
	?0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA
SEC-N107系列	EtherCAT® 通訊方式	符合EtherCAT®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC ± 4V

• 高精度：±1.0% S.P. (*1)
• 1秒內(nèi)快速響應(yīng) (*1)
• 多氣體，多量程解決方案

(*1)包括SEC-N17XR

多氣體，多量程的功能可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。

制造: HORIBA STEC