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產(chǎn)品資料

晶圓背面冷卻系統(tǒng)GR-300系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售

晶圓背面冷卻系統(tǒng)GR-300系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
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  • 產(chǎn)品名稱：晶圓背面冷卻系統(tǒng)GR-300系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
  • 產(chǎn)品型號(hào)：GR- 300
  • 產(chǎn)品展商：HORIBA掘場(chǎng)
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列-四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售 晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列-四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
產(chǎn)品描述

晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列

  • 概要
  • 規(guī)格

概要

對(duì)那些被靜電卡盤系統(tǒng)固定位置的硅片，GR-300系列產(chǎn)品可以控制對(duì)硅片背面進(jìn)行冷卻的氣體流量。適合使用氦氣的冷卻系統(tǒng)和使用氬氣的氣體控制硅片覆蓋。

另外可選擇配置的質(zhì)量流量傳感器也可以用來監(jiān)測(cè)氣體流量。

                       

特征

  •  更加穩(wěn)定和準(zhǔn)確的壓力控制

  • 質(zhì)量流量傳感器 （可選配）

  • 可以配置各種類型的接頭

  • 符合RoHS的環(huán)保要求 

制造: HORIBA STEC

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