MV-2000系列實(shí)現(xiàn)高效的汽化,即使在低溫情況下也可通過螺旋式加熱達(dá)到汽化效果。此種汽化方式適用于半導(dǎo)體制造工藝,諸如“High-k”——一種易熱解的液體源
制造: HORIBA STEC
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