1 ) 扇形模板的制備 在鍍有鋁膜的薄平板玻璃（一 般采用光譜干板）上，用鉆石刀、寶石刀或者金屬刀刻劃出一條殼線，稱(chēng)為單線。它的寬度取決于圓光柵的刻線寬、周期和圓刻機(jī)的* 小分度。

    圓光柵的刻線呈扇形，而不是一個(gè)矩形。 所以，一般線寬在0。01毫米左右時(shí)，單線取光柵線寬的一半。為了保證光柵刻線的扇形性和易于刻出理想的單線，當(dāng)光柵刻線較寬時(shí)，單線就更細(xì)些。

    將選用 的單線裝于光刻刀架的“ 小船 ” 上，按要求調(diào)整好直徑、偏心和水平，并調(diào)好圓刻度機(jī)的進(jìn)給量場(chǎng)進(jìn)光刻扇形。扇形的寬窄視圓光柵刻線的中徑而定，一般60進(jìn)制的小光柵盤(pán)的扇形寬度選為1°，大光柵盤(pán)的扇形寬度選為1°/ 2，即用這樣的扇形模板刻制整個(gè)光柵盤(pán)時(shí)，圓刻度機(jī)只需進(jìn)給、曝光360次或720次。 也就是在光照均勻的前提下，盡量把扇形做得大些，以便刻制光柵盤(pán)時(shí)時(shí)間短，這樣才能既效率高又保證刻劃精度。光刻出的扇形刻線是黑線亮背景，不能做為模板使用，必須將其復(fù)制成刻線四周不透光的扇形模板。扇形模板用蟲(chóng)膠或者 光刻膠復(fù)制，復(fù)制得到的鉻扇形模板在多次接觸光刻光柵盤(pán)時(shí)比較耐磨損，經(jīng)得起使用。

    2) 圓光柵盤(pán)的刻制 將經(jīng)過(guò)檢驗(yàn)合格的扇形模板裝在光刻刀架的“ 小船 ” 上，調(diào)整好偏心、水平，使圓刻度機(jī)的每次進(jìn)給轉(zhuǎn)角正好等于扇形模板所包含的角度，進(jìn) 行試刻。當(dāng)試刻出的圓光柵在每一個(gè)扇形模板相接處的刻線寬與其他處 一樣時(shí)，即是扇形模板的直徑已調(diào)好。而后通過(guò)直觀法把試刻得到的兩段圓光柵迭加，將莫爾條紋調(diào)整到合適的寬度?？雌涫欠裢蛔?。 若條紋均勻，反差強(qiáng)，光滑無(wú)突起則為調(diào)整好了。

    將涂有火棉膠感光膜的圓光柵工件置于圓刻度機(jī)的工作臺(tái)上，調(diào)整工件對(duì)圓刻度機(jī)旋轉(zhuǎn)中心的偏心和水平，開(kāi)啟閃光燈電源，待閃光和工件穩(wěn)定一段時(shí)間后，就可進(jìn)行接觸復(fù)印光刻圓光柵。

    經(jīng)過(guò)曝光復(fù)印的工件。需潛象處理 ( 即顯影 、 定影 ) 才能得 到所要求圖象的圓光柵，若發(fā)現(xiàn)線紋不夠黑或黑 白比沒(méi)有達(dá)到要求時(shí)，還可 以進(jìn)行**次顯影 (一般稱(chēng)為加厚) 。刻制在* 微粒干板或火棉膠層上的圓光柵，因是 有底層的 ，其牢固度較差，經(jīng)不起摩擦，并且均勻性也差。