圓光柵是一種在玻璃圓盤表面的一個圓環(huán)形區(qū)域上刻有大量均勻分布的、透明和不透明相間的圓分度元件，由于其刻線呈輻射狀的，又稱輻射光柵。
接觸復印法制造圓光柵，大體分為兩步： 1 ) 扇形模板的制備 在鍍有鋁膜的薄平板玻璃（一 般采用光譜干板）上，用鉆石刀、寶石刀或者金屬刀刻劃出一條殼線，稱為單線。它的寬度取決于圓光柵的刻線寬、周期和圓刻機的小分度。
圓光柵的刻線呈扇形，而不是一個矩形。 所以，一般線寬在0。01毫米左右時，單線取光柵線寬的一半。為了保證光柵刻線的扇形性和易于刻出理想的單線，當光柵刻線較寬時，單線就更細些。
將選用 的單線裝于光刻刀架的“ 小船 ” 上，按要求調(diào)整好直徑、偏心和水平，并調(diào)好圓刻度機的進給量場進光刻扇形。扇形的寬窄視圓光柵刻線的中徑而定，一般60進制的小光柵盤的扇形寬度選為1°，大光柵盤的扇形寬度選為1°/ 2，即用這樣的扇形模板刻制整個光柵盤時，圓刻度機只需進給、曝光360次或720次。 也就是在光照均勻的前提下，盡量把扇形做得大些，以便刻制光柵盤時時間短，這樣才能既效率高又保證刻劃精度。光刻出的扇形刻線是黑線亮背景，不能做為模板使用，必須將其復制成刻線四周不透光的扇形模板。扇形模板用蟲膠或者 光刻膠復制，復制得到的鉻扇形模板在多次接觸光刻光柵盤時比較耐磨損，經(jīng)得起使用。
2) 圓光柵盤的刻制將經(jīng)過檢驗合格的扇形模板裝在光刻刀架的“ 小船 ” 上，調(diào)整好偏心、水平，使圓刻度機的每次進給轉(zhuǎn)角正好等于扇形模板所包含的角度，進 行試刻。當試刻出的圓光柵在每一個扇形模板相接處的刻線寬與其他處 一樣時，即是扇形模板的直徑已調(diào)好。而后通過直觀法把試刻得到的兩段圓光柵迭加，將莫爾條紋調(diào)整到合適的寬度?？雌涫欠裢蛔?。 若條紋均勻，反差強，光滑無突起則為調(diào)整好了。
將涂有火棉膠感光膜的圓光柵工件置于圓刻度機的工作臺上，調(diào)整工件對圓刻度機旋轉(zhuǎn)中心的偏心和水平，開啟閃光燈電源，待閃光和工件穩(wěn)定一段時間后，就可進行接觸復印光刻圓光柵。
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