無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室可以劃分成以下幾個(gè)等級(jí):
1、yi級(jí)。diyi級(jí)潔凈室,主要用于制造集成電路,其精度要求在亞微米。
2、十級(jí)。十級(jí)無(wú)塵室主要用于帶寬小于二微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
3、百級(jí)。百級(jí)凈化室,主要是用來(lái)做無(wú)jun生產(chǎn)的,包括移植手術(shù),收集器皿的生產(chǎn),以及一些容易被細(xì)jun感染的病人,比如骨髓移植的病人。
4、千級(jí)。該凈化室主要適用于制作高品質(zhì)的光學(xué)制品,也適用于測(cè)試、航標(biāo)、jing密微細(xì)軸承的安裝。
5、萬(wàn)級(jí)。萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的安裝,同時(shí)也可用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
6、十萬(wàn)級(jí)。十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室多被應(yīng)用在工業(yè)部門中,例如:光學(xué)商品的制造,用于較小的元器件的制造,大型的電子體系,液壓或氣壓體系的制造,食品飲料的出產(chǎn),醫(yī)yao工業(yè)也經(jīng)常使用這一等級(jí)無(wú)塵室。
用一個(gè)地區(qū)內(nèi)粒子的數(shù)目來(lái)表示空氣潔凈程度。所謂“千”、“萬(wàn)”“無(wú)塵室”,就是指0.5μ m以上的塵埃粒子數(shù)量在1000個(gè)或10000個(gè)以下。所以,百級(jí),千級(jí),萬(wàn)級(jí),都是以粒子數(shù)量來(lái)劃分的。一般而言,潔凈度越低,說(shuō)明凈化度越高。
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