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測量電解法
氣密性檢查:測試系統(tǒng)所要接頭處應(yīng)無泄漏,否則會因空氣中的水分滲入導(dǎo)致測量結(jié)果偏高。
六氟化硫氣體流量的標(biāo)定:儀器的浮子流量計應(yīng)用皂膜流量計標(biāo)定,要求標(biāo)定100mL/min和50mL/min兩點,標(biāo)定過程中浮子應(yīng)
保持穩(wěn)定。
電解池的檢查
電解池靈敏度的檢查:將被測氣體流量從100mL/min降到50mL/min,所得到的含水量應(yīng)是初始值的一半,*大相對偏差為10%。
取去電解池兩端接線柱上的接線片,用萬用表的100(Ω)檔于接線柱相接,萬用表的指針應(yīng)從低阻值明顯向高阻值變化,否則需
要電解池需要清洗涂敷或更換。
電解池及測量儀器本底干燥:利用高純氮氣進行干燥,將控制閥置于干燥檔,緩慢的打開測試流量閥,以20-50mL/min的流量干燥
電解池,為節(jié)約用氣,旁通流量可以關(guān)小,至表頭示值下降值5×10
-6
以下。
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