濺射靶材作為半導(dǎo)體集成電路、記錄介質(zhì)、液晶平面顯示LCD以及太陽能等行業(yè)的重要功能材料,其應(yīng)用與需求逐年增加。靶材的質(zhì)量對后續(xù)產(chǎn)品的影響是決定性的,目前美國、日本、德國等靶材行業(yè)的知名企業(yè)均采用超聲C-SCAN檢測設(shè)備,如美國Angstrom公司,日本東曹(TOSOH)、三洋(SANYO),德國賀利氏、GFE等,可以說C-SCAN設(shè)備已經(jīng)成為靶材制備及綁定加工行業(yè)不可或缺的質(zhì)量檢測設(shè)備。相應(yīng)的國際標(biāo)準(zhǔn)有ASTM F1512-94(2003)等,國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)也在制定中。
奧瑞視依靠多年無損檢測行業(yè)以及有色金屬材料加工領(lǐng)域的經(jīng)驗,為有色金屬靶材行業(yè)提供超聲C-SCAN檢測設(shè)備。能夠?qū)Ω鞣N有色金屬靶材(板靶、管靶、高純金屬鑄錠)及其綁定(Bonding)質(zhì)量進(jìn)行檢測,探明靶材內(nèi)部夾雜、分層、縮孔、孔洞、氣泡、內(nèi)裂、疏松等細(xì)小缺陷,檢測綁定層的氧化物雜質(zhì)、未焊合、分層、空隙等缺陷,測量綁定層的厚度均勻性等。奧瑞視的靶材超聲C-SCAN檢測軟件專門針對有色金屬的檢測特征、靶材行業(yè)檢測的要求進(jìn)行了定制,在通用超聲C掃描功能的基礎(chǔ)上,還具有F特征掃描、焊合率評估等特色功能,能全方位對原材料、靶材質(zhì)量進(jìn)行評定。
奧瑞視目前已經(jīng)在靶材用高純金屬原材料,如:高純銅、鋁、鎳、釕等,金屬靶材,如:鎢、鉬、鋁,氧化物陶瓷靶材,如:ITO,合金靶材等方面取得眾多業(yè)績,形成了板靶、圓盤靶、管靶、大尺寸鑄錠、靶材綁定質(zhì)量的成熟檢測工藝。奧瑞視的C-SCAN-ARS靶材超聲檢測系統(tǒng)在國內(nèi)多家靶材知名企業(yè)得到應(yīng)用,深得客戶的好評。
奧瑞視依靠技術(shù)團(tuán)隊深厚的行業(yè)經(jīng)驗、研發(fā)實力及成熟穩(wěn)定的產(chǎn)品,急客戶之所急,為企業(yè)提供靶材樣品檢測服務(wù),按標(biāo)準(zhǔn)出具檢測報告。目前奧瑞視的靶材超聲C-SCAN樣機(jī)可檢測的范圍高達(dá)4m*2m,管、棒靶材的直徑可從80mm-350mm。
熱誠歡迎國內(nèi)有色金屬、靶材生產(chǎn)企業(yè)來電洽淡。
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