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技術(shù)文章

半導(dǎo)體制造中必要的微量氣體微量氧檢測(cè)與控制

                 

監(jiān)測(cè)和控制特殊氣體中微量雜質(zhì)的完整解決方案

我們的氧氣和水分分析儀和傳感器，連同過(guò)程氣相色譜儀，提供了一個(gè)完整的解決方案來(lái)監(jiān)測(cè)和控制惰性氣體、特殊氣體和有毒氣體的純度，如：氮?dú)猓∟2）、氦氣（He）、氬氣（Ar）、氧氣（O2）、氫氣（H2）、六氟化鎢（WF6）、八氟環(huán)丁烷（C4F8），硅烷（SiH4）、鍺烷（GEH4）、一氧化二氮（N2O）和三氟化氮（NF3）。


產(chǎn)品選擇

高純氣體中的微量氧

應(yīng)用/服務(wù) 測(cè)量范圍 測(cè)量氣體/背景氣 推薦產(chǎn)品
高純氣體中氧污染的監(jiān)測(cè) 0-100ppb N2, H2, Ar PI2-UHP100 & PI2-MS1000
監(jiān)測(cè)大氣釬焊和退火銅膜用高純氫**劑氣體的氧污染 0-100ppb O2 N2, H2, Ar PI2-UHP100 & PI2-MS1000

樣氣雜質(zhì)

樣氣 范圍 AR(ldl) H2(ldl) CO2(ldl) NMHC(ldl) N2 CO(ldl) CH4(ldl)
氦 0-500ppb 80ppt 95ppt 95ppt 100ppt 85ppt 95ppt 95ppt
氦 0-500ppb x 100ppt 95ppt 100ppt 95ppt 95ppt 95ppt
氦 0-500ppb 80ppt 100ppt 100ppt 100ppt 100ppt 100ppt 100ppt
氦 0-500ppb 95ppt x 95ppt 100ppt 90ppt 95ppt 95ppt
氦 0-500ppb 80ppt 95ppt 95ppt 100ppt x 95ppt 100ppt

檢測(cè)下限

注:噪音水平是基于使用氦保護(hù)氣體的噪聲峰值

組分 濃度 (ppb) 峰高 (mV) 噪音(mV) LDL (3 倍噪音) (ppt)
氦 1.335 5.056 0.056 44ppt
二氧化碳 1.108 4.304 0.118 91ppt
非甲烷總烴 1.057 4.068 0.072 56ppt
氮 1.661 4.906 0.056 57ppt
一氧化碳 0.885 3.605 0.113 83ppt
甲烷 1.060 4.635 0.057 40ppt



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