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埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司
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產(chǎn)品圖片	產(chǎn)品名稱/型號(hào)	產(chǎn)品簡單介紹
	Teledyne API溶解臭氧分析儀 W1 + 465L	Teledyne API溶解臭氧分析儀能夠不間斷測(cè)量水中溶解臭氧濃度。該儀器使用包含先進(jìn)電子元件的水汽分離柱，能夠提供極其精準(zhǔn)穩(wěn)定的臭氧讀數(shù)。Teledyne API溶解臭氧分析儀該儀器適合應(yīng)用于飲用水處理、污水治理和去離子水處理過程中的臭氧測(cè)量。
	Teledyne API溶解臭氧分析儀 470	Teledyne API溶解臭氧分析儀470是先進(jìn)的溶解臭氧測(cè)量模塊，為半導(dǎo)體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計(jì)。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L的溶解臭氧測(cè)量。Teledyne API溶解臭氧分析儀470已完成“預(yù)備清潔”，能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可簡單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路中，高支持150 SLPM的流量。
	Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器 OG-5000	Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對(duì)高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計(jì)的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。 Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000系列設(shè)計(jì)緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測(cè)器、臭氧濃度監(jiān)測(cè)器和臭氧破壞器中。該儀器經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。
	API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng) ODS	Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求*高的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)。這個(gè)高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應(yīng)用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合完全，操作簡單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)聯(lián)動(dòng)，插入即可使用。該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設(shè)定值伺服控制臭氧輸送。
	Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng) Mini ODS	Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng) Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠?yàn)樵S多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達(dá) 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計(jì)，卻是一個(gè)完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測(cè)儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動(dòng)裝置。
	Teledyne API臭氧發(fā)生器 SCI-552	Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552 SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠?yàn)楹芏嘞到y(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計(jì)、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。
	Teledyne API催化臭氧破壞器 CAT-O3	Teledyne API催化臭氧破壞器 CAT-O3系列臭氧破壞器能夠的分解高濃度臭氧到亞ppm濃度級(jí)，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于推薦的臭氧濃度。該儀器使用金屬氧化物被動(dòng)催化臭氧轉(zhuǎn)化為氧氣。 Teledyne API催化臭氧破壞器CAT-O3系列臭氧破壞器的外殼由不銹鋼焊接而成，并配有熱屏蔽層。該設(shè)備的設(shè)計(jì)能夠滿足行業(yè)內(nèi)嚴(yán)格的**標(biāo)準(zhǔn)。
	Teledyne API空冷臭氧發(fā)生器 AC-2025	Teledyne API空冷臭氧發(fā)生器AC系列臭氧發(fā)生器使用靜音電暈放電技術(shù)，且設(shè)計(jì)緊湊。該陶瓷基的工業(yè)級(jí)臭氧發(fā)生器能夠生產(chǎn)濃度超過200 g/Nm3 或 14% w/w的臭氧。AC系列發(fā)生器可選19英寸的柜機(jī)式外殼或堅(jiān)固的、能夠應(yīng)對(duì)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境的壁掛式外殼。Teledyne API空冷臭氧發(fā)生器為了便于使用，每臺(tái)AC系列臭氧發(fā)生器都配有整合的控制器，使得儀器可在本地或遠(yuǎn)程模式下運(yùn)行。安裝在內(nèi)部的強(qiáng)制通風(fēng)冷卻系統(tǒng)能夠高效的在系統(tǒng)內(nèi)循環(huán)空氣以冷卻臭氧發(fā)生單元和內(nèi)部電源
	Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器 OG-5000	Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000 OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對(duì)高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計(jì)的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕臺(tái)流程中。OG-5000系列設(shè)計(jì)緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測(cè)器、臭氧濃度監(jiān)測(cè)器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。

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