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無(wú)塵車(chē)間非??膳碌撵o電危害

       在無(wú)塵車(chē)間中,由于靜電的**影響,會(huì)導(dǎo)致微粒污染,靜電放電(ESD)以及設(shè)備故障等問(wèn)題。現(xiàn)代的過(guò)濾技術(shù)可以防止絕大部分的外部粉塵進(jìn)入潔凈室。但是,在潔凈室內(nèi)部,粉塵依然會(huì)在工作人員,生產(chǎn)設(shè)備以及部分生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生。令人遺憾的是,通常這些粉塵源都會(huì)比較靠近產(chǎn)品。如果物體表面帶了靜電,由于靜電吸引就會(huì)吸附在潔凈室層流中傳播的粉塵。亞微米級(jí)的塵粒會(huì)影響到高科技產(chǎn)品的質(zhì)量,它們一旦被吸附,產(chǎn)品表面就很難**。 

       靜電放電也會(huì)產(chǎn)生電磁干擾(EMI)現(xiàn)象。這將會(huì)妨礙到產(chǎn)品設(shè)備(特別是基于微處理器的機(jī)器人技術(shù))的正常工作。發(fā)生在某部分設(shè)備上的靜電放電,也可能會(huì)影響到附近其他設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn),這樣就很難找出問(wèn)題出在什么地方。 一個(gè)**的污染控制流程,必須將靜電問(wèn)題作為潔凈室污染的一種類(lèi)型,將其測(cè)量和處理納入其中。 

        除了會(huì)使?jié)崈羰抑械某龎m變得更加困難外,靜電還會(huì)帶來(lái)其他的生產(chǎn)問(wèn)題。未加控制的靜電傳導(dǎo)——靜電放電——會(huì)直接對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生危害。危害到半導(dǎo)體、磁盤(pán)零部件、醫(yī)療設(shè)備以及多種類(lèi)型的薄膜和涂層。 

       塵粒污染在半導(dǎo)體、磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器和FPD產(chǎn)業(yè)中臭名昭著。它們會(huì)導(dǎo)致組件報(bào)廢或者損害磁頭和磁盤(pán)介質(zhì)。一個(gè)平面顯示器很可能因?yàn)閱螁我粋€(gè)帶靜電的塵粒而被破壞掉。對(duì)于醫(yī)療設(shè)備,帶靜電的塵粒在其質(zhì)量上所帶來(lái)的后果可能會(huì)更為嚴(yán)重。在醫(yī)療、制藥、食品加工還有其他生命科學(xué)行業(yè)中,還必須考慮吸附在塵粒上的微生物的影響。