日本HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

質(zhì)量流量計由流量傳感器, 分流器通道和流量放大電路等部件組成；在質(zhì)量流量計的基礎上，再加上調(diào)節(jié)閥門和 PID 控制電路就構(gòu)成了質(zhì)量流量控制器。

流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度和壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

分流器在主通道和毛細管間產(chǎn)生層流，控制器輸出的流量檢測電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比，滿量程(F.S.)流量檢測輸出電壓為+5V。質(zhì)量流量控制器(流量計)的流量控制范圍是(2～100)%F.S.（量程比為 50:1）,流量分辨率是 0.1%F.S.。

控制操作一般在 MT-52 系列流量顯示儀上進行。當 INT/EXT 開關(guān)撥到“INT（內(nèi)控）”時，由流量顯示儀上的設定電位器控制流量。當撥到“EXT（外控）” 時，由用戶提供的外部 0V～+5V 電壓控制流量。

在 MT-52 的顯示面板上設置有閥控按鍵，當置于“Run（閥控）”時，則按設定電位器的數(shù)值自動控制流量，當置“Close（關(guān)閉）”位時，閥門關(guān)閉；當置“Open（清洗）”位時，閥門開到*大，以便氣路清洗，或作為流量計使用。在做流量計使用時，流量檢測電壓的輸出值*大可能達到+10V 以上，不過要注意，當流量超過滿量程（+5V）后，流量檢測電壓與通過的實際流量不成線性對應關(guān)系。清洗時，流量顯示不準確，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的異?，F(xiàn)象，但不會對流量計本身造成損傷。（參考流量顯示儀的使用說明書）