RTS-4單晶硅半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀
RTS-4型四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了*新電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
RTS-4單晶硅半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀
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測量范圍
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電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω.cm；
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可測晶片直徑
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140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
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恒流源
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電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔???各檔電流連續(xù)可調(diào)
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式000.00～199.99 mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗＞1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；
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四探針探頭基本指標
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間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3％；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
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(見探頭附帶的合格證)
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模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)
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0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
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整機測量*大相對誤差
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(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試) ≤±5％
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整機測量標準不確定度
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≤5％
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測試模式
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可連接電腦測試也可不連接電腦測試。
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軟件功能（選配）
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軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
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計算機通訊接口
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并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒。
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標準使用環(huán)境
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溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65％；
無高頻干擾；
無強光直射；
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RTS-4單晶硅半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀
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序號
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品名
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單位
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配置
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1
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RTS-4四探針測試儀
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套
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四探針測試儀主機一臺、S-2B手動測試臺一臺、四探針探頭一個
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2
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RTS-4四探針測試儀
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套
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四探針測試儀主機一臺、S-2B手動測試臺一臺、四探針探頭一個、測試軟件(含測控模塊)
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3
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RTS-4四探針測試儀
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套
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四探針測試儀主機一臺、S-2B手動測試臺一臺、四探針探頭一個、測試軟件(含測控模塊)、臺式電腦一臺
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3
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RTS-4四探針測試儀
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套
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四探針測試儀主機一臺、DJ-2電動測試臺一臺、四探針探頭一個
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4
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RTS-4四探針測試儀
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套
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四探針測試儀主機一臺、DJ-2電動測試臺一臺、四探針探頭一個、測試軟件（含測試模塊）
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4
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RTS-4四探針測試儀
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套
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四探針測試儀主機一臺、DJ-2電動測試臺一臺、四探針探頭一個、測試軟件（含測試模塊）、臺式電腦一臺
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