簡要概述：
? 儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
? 儀器采用了*新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀前面板
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? RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
? 測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
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技術(shù)參數(shù)：
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測量范圍 |
電阻率：10-4～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：10-3～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：10-5～104 s/cm；
電阻：10-4～105 Ω； |
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可測晶片直徑 |
140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)； |
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恒流源 |
電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
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數(shù)字電壓表 |
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示； |
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四探針探頭基本指標(biāo) |
間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù) |
(見探頭附帶的合格證) |
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模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) |
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
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整機(jī)測量*大相對誤差 |
(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
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整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 |
≤5% |
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計(jì)算機(jī)通訊接口 |
并口 |
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 |
溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射； |
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