測(cè)量范圍

 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；  
 方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)； 
 電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm； 
 電阻：0.0001～2000Ω.cm； 

可測(cè)晶片直徑

 Φ=200mm；

恒流源

 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距：1±0.01mm；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量*大相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤5%

測(cè)試模式

連接電腦使用可對(duì)樣品進(jìn)行單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的全自動(dòng)測(cè)試，不連接電腦情況下可進(jìn)行單點(diǎn)、中心五點(diǎn)、邊緣五點(diǎn)測(cè)試并把測(cè)試結(jié)果同時(shí)顯示于顯示屏。

消除測(cè)試過(guò)程中影響因素

屏蔽和吸附測(cè)試，完全消除光線和全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程中樣品移動(dòng)對(duì)樣品測(cè)試的影響，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度：23±2℃；
 相對(duì)濕度：≤65%；
 無(wú)高頻干擾；
 無(wú)強(qiáng)光直射；