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日本日立HITACHI，高解析度FEB測(cè)量裝置，綿陽供應(yīng)
供應(yīng)日本日立HITACHI高解析度FEB測(cè)量裝置CS4800（CD-SEM）  的詳細(xì)介紹


  • 考慮了更換現(xiàn)有設(shè)備或共同使用情況下的設(shè)備占地面積和GUI*1
  • 通過**設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，搭載了高精度測(cè)量技術(shù)和*新的計(jì)量應(yīng)用。
  • 通過光學(xué)軸自動(dòng)化調(diào)整，減少了由于操作員熟練度而造成的測(cè)量偏差。
  • 更高的圖像處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)Recipe自動(dòng)測(cè)量并提高產(chǎn)能。
  • 新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
*1
GUI (Graphic User Interface):使用計(jì)算機(jī)的圖形顯示器和鼠標(biāo)等指示設(shè)備的軟件操作系統(tǒng)。

測(cè)量精度 1nm（3σ）（采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓）
晶圓尺寸 直徑 100mm, 150mm, 200mm
自動(dòng)裝片裝置 2個(gè)
設(shè)備尺寸（主體） 1180（寬）× 2500（長）× 1990（高）毫米

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