坂口電熱SAKAGUCHI,ExLASER®(X·激光)EXL-CT-010-DS55
超高速的升溫降溫可能
通過一個射擊可以均以加熱2英寸基板
對被加熱物可以直接加熱
可符合工序進行溫度控制
不加熱空氣可實現(xiàn)能源節(jié)約。
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