日韩成人高清二区三区_亚洲成AV人片不卡无码_啊灬啊灬啊灬快灬高潮少妇_久久这里只有精品最新6_日韩欧美国产一区精品

首頁 >>> 產(chǎn)品目錄 >>> ULVAC愛發(fā)科
儀表展覽網(wǎng) >>> 展館展區(qū) >>> 日本ULVAC愛發(fā)科批量式氧化膜去除設(shè)備RISE?系列四川成都重慶Nishizaki供應(yīng) > 日本ULVAC愛發(fā)科批量式氧化膜去除設(shè)備RISE?系列四川成都重慶Nishizaki供應(yīng)

產(chǎn)品資料

日本ULVAC愛發(fā)科批量式氧化膜去除設(shè)備RISE?系列四川成都重慶Nishizaki供應(yīng)

日本ULVAC愛發(fā)科批量式氧化膜去除設(shè)備RISE?系列四川成都重慶Nishizaki供應(yīng)
  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：日本ULVAC愛發(fā)科批量式氧化膜去除設(shè)備RISE?系列四川成都重慶Nishizaki供應(yīng)
  • 產(chǎn)品型號(hào)：RISE?系列
  • 產(chǎn)品展商：日本ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
日本ULVAC愛發(fā)科批量式氧化膜去除設(shè)備RISE?系列四川成都重慶Nishizaki供應(yīng) 日本ULVAC愛發(fā)科批量式氧化膜去除設(shè)備RISE?系列四川成都重慶Nishizaki供應(yīng)
產(chǎn)品描述
批量式氧化膜去除設(shè)備
RISE?系列

批量式氧化膜去除設(shè)備是一種具有間歇性預(yù)清洗的設(shè)備，可以應(yīng)對(duì)難以**的自然氧化膜，如LSI的深層接觸底部。有200毫米和300毫米的晶圓尺寸可供選擇。

A Batch System to Remove Native Oxide 
RISETM-300

For more Information

rise300

Batch type equipment of chemical dry cleaning for remoral of native oxide in Narrow and Deep-contact patterns of advanced semiconductor.

Features

  • Damage-free (remote plasma and low-temperature process)
  • High throughput and low CoO
  • Processing in batches of fifty wafers
  • Superior uniformity of etching (5% or less per batch)
  • Easy maintenance (no side maintenance access is required)
  • Small foot print compare to cluster type equipment
  • 50% lower self-aligned contact resistance compared to current wet process
  • The Smallest foot print

Applications

  • Pre-cleaning for self-aligned contact (SAC) formation
  • Pre-cleaning for capacitor formation
  • Pre-cleaning for epitaxial growth
  • Pre-cleaning for Co or Ni salicide

Specifications

Model RISETM-300
Plasma Source Microwave Power Supply
Configuration EFEM + LL + PM
Wafer Size 300mm diameter
Wafer Stage Ceramic Board (50 wafers/batch)
Pumping System Etching Module:Mechanical booster pump +DRP
Control System FAPC+TFT Touch Panel
Gas Supply 3 lines
Application SAC, Capacitor, Epitaxial growth, Pretreatment for salicide
Electricity Main Power Supply 1 AC±208V, 50/60Hz, 3phase118A, 41kVA
Main Power Supply 2 AC±208V, 50/60Hz, 3phase83A, 28.6 kVA
Pump Rack AC200V, 50/60Hz, 3phase86.5A, 30kVA
Cooling Water Main System 0.2 - 0.5MPa 
20 - 25oC 
20L/min x 2lines
DRP / Chiller 0.2 - 0.5MPa 
20 - 25oC 
15L/min
Compressed Air 0.4 - 0.7MPa
N2 Gas 0.6 - 0.9MPa
Process gas Chamber Vent, Pump Purge 0.6 - 0.9MPa
Exhaust Main System 20m3/min
Exhaust for Gas Box (Combustible Gas Side) 2.0m3/min
Exhaust for Gas Box (Oxidizing Gas Side) 0.3m3/min
Exhaust for Pump Rack 10.5m3/min


產(chǎn)品留言
標(biāo)題
聯(lián)系人
聯(lián)系電話
內(nèi)容
驗(yàn)證碼
點(diǎn)擊換一張
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
  • 溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。
  • 免責(zé)申明：以上內(nèi)容為注冊(cè)會(huì)員自行發(fā)布，若信息的真實(shí)性、合法性存在爭(zhēng)議，平臺(tái)將會(huì)監(jiān)督協(xié)助處理，歡迎舉報(bào)
產(chǎn)品留言
標(biāo)題
內(nèi)容
聯(lián)系人
聯(lián)系電話
電子郵件
公司名稱
聯(lián)系地址
驗(yàn)證碼
點(diǎn)擊換一張
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!

粵公網(wǎng)安備 51012402000291號(hào)