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產(chǎn)品資料

日本Otsuka大塚分光干擾式厚度計SF-3四川成都西崎供應

日本Otsuka大塚分光干擾式厚度計SF-3四川成都西崎供應
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：日本Otsuka大塚分光干擾式厚度計SF-3四川成都西崎供應
  • 產(chǎn)品型號：SF-3
  • 產(chǎn)品展商：日本Otsuka大塚
  • 產(chǎn)品文檔：無相關文檔
簡單介紹
日本Otsuka大塚分光干擾式厚度計SF-3四川成都西崎供應 以非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測定 日本Otsuka大塚分光干擾式厚度計SF-3四川成都西崎供應
產(chǎn)品描述

製品情報

特　長
  • 非接觸、非破壊で厚み測定が可能
  • 反射光學系（片側(cè)からのコンタクトで測定が可能）
  • 高速性（*速５ｋHz）且つリアルタイム評価が可能
  • 高い安定性（繰返し精度 0.01％以下）を?qū)g現(xiàn)
  • 粗さやハイドープに強い
  • 任意距離に対応が可能
  • 多層構(gòu)造に対応（*大5層）
  • NGデータ排除機能を內(nèi)蔵
  • 距離（形狀）測定が可能（組込センサー用付屬オプション） *
                                                            *測定レンジ內(nèi)の光學距離測定による

5つの特長

 

測定項目
  • 厚み測定（５層）

 

用途
  • 各種ウェーハ厚み（Silicon、その他化合物ウェーハ）
  • 各種 研削?研磨?貼り合わせなどへのプロセス組込
  • ウェーハ以外の厚膜部材厚み

 

半導體プロセスへの組み込み例
■ CMPプロセス

 

 

 

■ テンポラリーボンディング

 

 

 

■ バックグラインド

 

 

 

■ ウェットエッチング

 

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