項(xiàng)目

規(guī)格

對(duì)象基板尺寸

長(zhǎng)：70W×70L mm 高：保持面上 10mm以下

裝置尺寸

652W×411D×425Hmm

加熱方式

上面：熱風(fēng)?遠(yuǎn)紅外線輻射過(guò)熱　下面：遠(yuǎn)紅外線輻射加熱

冷卻方式

外部氣體(氮?dú)饣蚩諝?導(dǎo)入
冷卻用流量調(diào)整弁付

電源

3相 200V 50/60Hz 1.6kVA

外部氣體

0.3～0.5MPa　100升/min (MAX)

爐內(nèi)氧氣濃度 (氮?dú)馐褂脮r(shí))

*低100ppm

基板托盤

平托盤

上面加熱

熱風(fēng)式：約675W(約75W×3本×2列+約225W×1本)
※可以對(duì)標(biāo)準(zhǔn)管口進(jìn)行偏差設(shè)定
紅外線加熱器：約360W

下面加熱

紅外線加熱器：約360W

溫度精度

5℃以內(nèi) (*大基板中央 50W×50L mm范圍內(nèi))

測(cè)定溫度

常溫～330℃

測(cè)定點(diǎn)數(shù)

3點(diǎn)

氮?dú)夤┙o機(jī)能

流量調(diào)整閥?。?00升/min

重量

約50kg

項(xiàng)目

規(guī)格

貴陽(yáng)供應(yīng)日本MALCOM馬康SRS-2回流爐模擬測(cè)定裝置計(jì)測(cè)方法

貴陽(yáng)供應(yīng)日本MALCOM馬康SRS-2回流爐模擬測(cè)定裝置測(cè)定范圍

X軸方向：*大70mm
Y軸方向：*大70mm
Z軸方向：標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)0～3mm

變位計(jì)分辨能

*大0.2μm

X-Y軸驅(qū)動(dòng)速度

*大45mm/s(加減速度除外)

貴陽(yáng)供應(yīng)日本MALCOM馬康SRS-2回流爐模擬測(cè)定裝置測(cè)定點(diǎn)

*大19點(diǎn)(以在任意的時(shí)間及溫度內(nèi)連續(xù)的計(jì)測(cè)指定范圍)