電子機(jī)器の製造プロセスにおいて欠かすことのできない、各種石英製品を提供しております。半導(dǎo)體をはじめ、LEDや太陽電池、液晶パネルの製造プロセスなど、石英加工品は幅広い業(yè)界で使用されています。
大型のシングルタイプ?ダブルタイプの石英槽をはじめ、小型の石英ビーカーに至るまでご要望に応じて様々な形狀に対応いたします。また、石英材料以外にも硬質(zhì)ガラスなどのを使用したビーカー製品などにも対応が可能です。
- ウエハーウエット洗浄工程で使用 - シングル槽?ダブル槽(オーバーフロー) - 12 インチまで製造可能
照明分野で蓄積された石英の精密加工技術(shù)を武器に、高い加工精度と生産性を誇ります。
- 拡散?酸化?膜形成(CVD)工程で使用
高精度が要求される管材や板材等の加工は、研削機(jī)械で加工を行っており、複雑な形狀にも対応が可能です。 石英ガラスや硬質(zhì)ガラスの輪郭加工をはじめ、溝穴?ネジ穴などの加工など、様々な加工に利用されます。
- 半導(dǎo)體工程にてジョイント部及びウエハーホルダーとして使用
ウエハーの処理に使用する石英ガラス製のボートです??k型?橫型をはじめ小口徑向けの石英ハンガー、太陽電池向け特殊ボートなど、幅広く対応しております。 また、修理?洗浄?改造などにも対応可能です。
- 拡散?酸化?膜形成(CVD)工程で使用 - 縦型?橫型 自動(dòng)搬送対応型
CVD工程、拡散工程に不可欠な石英ガラス製爐心管です。新しい製品のご提供は當(dāng)然ながら、爐心管の修理などにも対応させて頂きます。また、縦型以外にも橫型の爐心管も各種取り扱っております。
- 拡散?酸化?膜成形(CVD)工程で使用 - 8インチまで製造可能
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