主體可選擇20度、45度、90度,水平放置用BC-K系列支持2英寸到12英寸。(使用角度是固定的,不更換主體就不能改變使用角度。)由于導(dǎo)向擋塊具有平緩的錐度,因此晶圓的邊緣會在一點(diǎn)接觸。
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