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廈門邁凱倫精瑞科儀有限公司
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產(chǎn)品名稱/型號(hào)
產(chǎn)品簡(jiǎn)單介紹
等離子設(shè)備
低頻等離子 經(jīng)濟(jì)桶型
PM110C
用于大直徑 大幅面基板清洗處理
PDC200/210/510
RIE·DP模式、平行平板電極
小型 多段式等離子清洗
PDC610
RIE·DP模式、3段獨(dú)立平行平板電極
大容量
V1000/1000X/1000XS
RIE·DP模式、多段平行平板電極
手持式
AP-4000ECO/4000RECO/4000/4000R
高頻輸出:500W/750W
在線等離子系統(tǒng) 含自動(dòng)傳輸系統(tǒng)
YSP62
RIE·DP模式、平行平板電極
低頻等離子 經(jīng)濟(jì)桶型
PR500/510/1000
高頻等離子 經(jīng)濟(jì)桶型
PR210C/300/301
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