ミクロの限界を超えた除塵能力 UVU-Fパネルクリーナは、斷面が、Ultrasonic Pressure ／ Vacuum ／Ultrasonic Pressureと並べられた構(gòu)造を採(cǎi)用（特許取得）したことにより、従來(lái)の非接觸式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。 特長(zhǎng)?効果 ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100％除去可能です。 ドライ洗浄方式の為、水?薬液の交換がなくランニングコストがかかりません。 非接觸式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷を與えません。 クローズドループシステム採(cǎi)用で、クリーンルーム內(nèi)の層流を亂すことなく使用できます。 除塵テスト及びその結(jié)果 社內(nèi)クリーンルーム（クラス100）內(nèi)でのテスト結(jié)果です。 1.6μmの微粒子を100％除去しています。（吐出空気圧力（P圧）14kpa） テスト條件 ●基材：液晶用ガラス基板（320mm×400mm） ●粉塵： ①1.6μmスペーサビーズ（ドライ散布） ②ガラス片異物 ●吐出空気圧力：14kpa ●基材とのギャップ：約1.5mm ●搬送速度：100mm／sec. ●評(píng)価方法：光學(xué)顕微鏡寫真

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