両面同時(shí)クリーニング可能 ブロワーは、小型?省スペースで安価 VUV-Fパネルクリーナは、斷面がVacuum/Ultrasonic Pressur/Vacuumと並べられた構(gòu)造を採(cǎi)用しています。弊社の特許であるU(xiǎn)V式に更にVacuumを加えたことにより、更に性能はアップしました。 特長(zhǎng)?効果 ドライクリーナで3μmの粉塵を100％除去可能です。 エアーバランスがよいのでヘッドを?qū)澫颏丹护苼I面同時(shí)クリーニングが可能です。 非接觸式のための基材の表面への損傷はありません。 除塵テスト及びその結(jié)果 社內(nèi)クリーンルーム（クラス100）內(nèi)でのテスト結(jié)果です。 3μmの微粒子を100％除去しています。 （吐出空気圧力14kpa） テスト條件 ●基材： 液晶用ガラス基板（250mm×250mmx1.1t） ●粉塵： 3μmスペーサビーズ（ドライ散布） ●搬送速度： 50mm／sec. ●評(píng)価方法： 表面検査裝置（GI-4600）

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