世界初！ 0.2mmの薄板ガラス、樹脂基板の両面クリーニングに成功！！ 吸著テーブル不要の両面同時クリーニングシステム 本社クリーンルームにて立會いテストを?qū)g施しています。 テストサンプルをご持參の上、その効果をご確認(rèn)ください。 Ｆ１型（厚物基板対応）　 ?。疲玻有停ǔ⌒突鍖潖辏?br /> Ｆ２型（薄物基板対応）　 ?。疲常有停ǔ⌒停O薄基板対応） Ｆ３型（極薄基板対応） 特長 両面同時にクリーニングを行えるシステムです。後工程の裝置汚染を防ぎます。 3ミクロンのシリカビーズは100%除去いたします。（弊社クリーンルーム內(nèi)テスト評価） クリーナヘッドへの基板の吸い付きを防止するための吸著テーブルが不要です。裝置全體でのコストダウンを?qū)g現(xiàn)します。 コンベアにてガラスをスルーさせるだけなので、大幅なタクトタイム向上が可能です。

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