超快 IV、脈沖 IV 和瞬時(shí) IV 測(cè)量逐漸成為進(jìn)行下一代半導(dǎo)體、器件和材料研發(fā)的一項(xiàng)常見(jiàn)要求。Agilent B1500A 系列中的 Agilent B1530A 波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元(WGFMU)是針對(duì)上述時(shí)間相關(guān)測(cè)量的*佳測(cè)量模塊。這些測(cè)量通常是由脈沖發(fā)生器和示波器共同完成,然而負(fù)載線效應(yīng)(剩余電阻導(dǎo)致的壓降誤差)會(huì)對(duì)測(cè)量精度產(chǎn)生不利影響。B1530A WGFMU 結(jié)合了任意波形生成功能,在高速 IV 測(cè)量方面有良好的應(yīng)用。安捷倫獨(dú)有的動(dòng)態(tài) SMU 技術(shù)消除了負(fù)載線效應(yīng),與基于脈沖發(fā)生器的解決方案相比,它可使用戶執(zhí)行更**、更靈敏的測(cè)量。儀器非常適合執(zhí)行超快 IV 測(cè)量、脈沖 IV 測(cè)量和瞬時(shí) IV 測(cè)量,例如超快 NBTI 和 RTN 測(cè)量。
動(dòng)態(tài)范圍調(diào)節(jié)特性可實(shí)現(xiàn)更寬泛的電流范圍,提供**而快速的測(cè)量
另一個(gè)挑戰(zhàn)是超快 IV、脈沖 IV 和瞬時(shí) IV 測(cè)量的靈敏度。脈沖底部和脈沖峰值之間的流動(dòng)電流是不同階的,部分器件顯示了所應(yīng)用的波形導(dǎo)致阻抗出現(xiàn)急劇變化。Agilent B1530A 能夠指定任意點(diǎn)上的測(cè)量范圍,任意波形輸出范圍會(huì)發(fā)生顯著變化。因此,*佳測(cè)量范圍和分辨率將會(huì)實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
即用型應(yīng)用軟件適用于先進(jìn)的器件測(cè)試,包括 RTN(隨機(jī)電報(bào)噪聲)、超快 NBTI/PBTI、脈沖 IV 和瞬時(shí) IV 測(cè)量
B1530A WGFMU 擁有先進(jìn)的測(cè)量功能,能夠勝任傳統(tǒng)測(cè)量?jī)x器無(wú)法執(zhí)行的測(cè)量任務(wù)。B1530A WGFMU 支持高速、高靈敏度的測(cè)量,可在低于 µs 的范圍內(nèi)進(jìn)行器件表征。該軟件非常適合執(zhí)行超快 NBTI/PBTI 和 RTN 等測(cè)量,這些測(cè)量對(duì)于實(shí)現(xiàn)先進(jìn)半導(dǎo)體的高可靠性具有重要意義。Agilent B1500A 提供即用型應(yīng)用軟件,可快速執(zhí)行測(cè)量。
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