測量(微調(diào))平臺 TA620測量平臺,絲桿升降,平臺上設(shè)置V型槽,用來測量形狀較小的工件,可提高測量平臺。
TA630微調(diào)平臺,X—Y平面轉(zhuǎn)角,俯仰角。
TA631微調(diào)平臺,X—Y平面轉(zhuǎn)角。
TA630、631都用來較小幅度的,粗確調(diào)整被測量工件的位置,提高測量精度。
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